[发明专利]扫描电子显微镜的物镜校准

权利要求书

1.一种用于校准的方法，其包括：

在控制单元处接收第一图像，其中所述第一图像提供扫描电子显微镜系统中的物镜的对准信息；

使用所述控制单元来基于所述第一图像确定第一X-Y电压对，其中所述第一X-Y电压对提供与所述第一图像中相比更靠近对准目标的中心的所述物镜的对准，其中确定所述第一X-Y电压对是使用第一深度学习神经网络，其中使用所述第一深度学习神经网络确定所述第一X-Y电压对包括基于一组训练图像对所述第一图像进行分类并生成所述第一X-Y电压对，以使所述第一X-Y电压对落在所述训练图像上的粗网格点上，以及其中所述第一深度学习神经网络包含分类网络；

使用所述控制单元来将所述第一X-Y电压对传递到所述扫描电子显微镜系统；

在所述控制单元处接收第二图像，其中所述第二图像提供所述物镜的对准信息，且所述第二图像是所述第一X-Y电压对的设置的结果；

使用所述控制单元来基于所述第二图像确定第二X-Y电压对，其中所述第二X-Y电压对提供与所述第一X-Y电压对相比更靠近所述对准目标的所述中心的所述物镜的对准，以及其中确定所述第二X-Y电压对是使用第二深度学习神经网络；及

使用所述控制单元来将所述第二X-Y电压对传递到所述扫描电子显微镜系统。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一X-Y电压对是一种类别。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二X-Y电压对是连续值。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二X-Y电压对是基于多个结果的平均值。

5.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

在生成所述第二图像之前，将所述第一X-Y电压对施加到所述扫描电子显微镜的Q4透镜；及

将所述第二X-Y电压对施加到所述扫描电子显微镜的所述Q4透镜。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二深度学习神经网络包含回归网络系综。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一图像及所述第二图像是碳衬底的图像，其中所述碳衬底上具有镀金锡球。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一X-Y电压对与所述第一图像的对焦区域的中心的X坐标和Y坐标相对应。

9.根据权利要求1所述的方法，其中使用第二深度学习神经网络确定所述第二X-Y电压对包括基于所述一组训练图像对所述第二图像进行分类并生成所述第二X-Y电压对，以使所述第二X-Y电压对落在所述训练图像上的粗网格点上。

10.一种存储用于校准的程序的非暂时性计算机可读媒体，所述程序经配置以指示处理器：

接收第一图像，其中所述第一图像提供扫描电子显微镜系统中的物镜的对准信息；

基于所述第一图像确定第一X-Y电压对，其中所述第一X-Y电压对提供与所述第一图像中相比更靠近对准目标的中心的所述物镜的对准，其中确定所述第一X-Y电压对是使用第一深度学习神经网络，其中使用第一深度学习神经网络确定所述第一X-Y电压对包括基于一组训练图像对所述第一图像进行分类并生成所述第一X-Y电压对，以使所述第一X-Y电压对落在所述训练图像上的粗网格点上，以及其中所述第一深度学习神经网络包含分类网络；

传递所述第一X-Y电压对到所述扫描电子显微镜系统；

接收第二图像，其中所述第二图像提供所述物镜的对准信息，且所述第二图像是所述第一X-Y电压对的设置的结果；

基于所述第二图像确定第二X-Y电压对，其中所述第二X-Y电压对提供与所述第一X-Y电压对相比更靠近所述对准目标的所述中心的所述物镜的对准，以及其中确定所述第二X-Y电压对是使用第二深度学习神经网络；及

传递所述第二X-Y电压对到所述扫描电子显微镜系统。

11.根据权利要求10所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述第一X-Y电压对是一种类别。