[发明专利]玻璃薄膜的制造方法有效
申请号: | 201880038796.6 | 申请日: | 2018-08-20 |
公开(公告)号: | CN110740979B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 猪饲直弘;村田宪一 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03B33/09 | 分类号: | C03B33/09 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 薄膜 制造 方法 | ||
本发明的玻璃薄膜的制造方法,具备对于沿着规定的搬送方向(X)搬送的带状的玻璃薄膜(G1)照射激光(L)从而割断玻璃薄膜(G1)的割断工序(S5)。在割断工序(S5)中,具备:通过具有开口部(25a)的平台(22)支承玻璃薄膜(G1)的下表面,并且由开口部(25a)吸引玻璃薄膜(G1)的工序;对于被开口部(25a)吸引的玻璃薄膜(G1)照射激光(L)的工序。
技术领域
本发明涉及例如制造带状的玻璃薄膜的方法。
背景技术
众所周知,用于液晶显示器、有机EL显示器等的平板显示器(FPD)的平板玻璃,用于有机EL照明的平板玻璃,用于作为触控面板的构成要素的强化玻璃等的制造的玻璃板,还有用于太阳能电池的面板等的玻璃板,实际情况是薄壁化被推进。
例如在专利文献1中公开有一种厚度为数百μm以下的玻璃薄膜(薄平板玻璃)。这种玻璃薄膜,如同文献中也记述的那样,一般是由采用了所谓溢流下拉法的成形装置连续成形而成。
在专利文献1中公开的玻璃薄膜的制造方法中,通过溢流下拉法连续成形得到的长形的玻璃薄膜,其搬送方向从垂直方向被变换成水平方向后,由搬送装置的横向搬送部(水平搬送部)继续向下游侧搬送。在此搬送途中,玻璃薄膜其宽度方向两端部(耳部)被切断除去。其后,玻璃薄膜由卷取辊卷取成卷状从而作为玻璃卷而构成。
作为切断玻璃薄膜的宽度方向两端部的技术,在专利文献1中公开有激光切割。在此激光切割方法中,一边搬送玻璃薄膜,一边通过金刚石切割器等的裂痕形成机构在玻璃薄膜上形成初始裂痕后,对这部分照射激光进行加热,其后,由冷却机构冷却被加热的部分。由此,在玻璃薄膜上发生热应力,在此热应力下初始裂痕进展,由此该玻璃薄膜的宽度方向端部被割断。
【在先技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本特开2012-240883号公报
一边搬送厚度为200μm以下的超薄型的玻璃薄膜,一边利用上述的激光切割方法进行切断时,在玻璃薄膜的搬送中,该玻璃薄膜上会发生无数的褶皱。在现有的激光切割方法中,若以该褶皱重叠在激光的照射位置上的状态进行玻璃薄膜的割断,则在割断后的玻璃薄膜的端面(截面),会有因褶皱引起的不良部分残留这样的问题。
发明内容
本发明鉴于上述的情况而形成,其技术课题为,防止通过激光切割切断玻璃薄膜后的端面不良的发生。
本发明是为了解决上述的课题的发明,是一种玻璃薄膜的制造方法,是具备通过对于沿规定的搬送方向被搬送的带状的玻璃薄膜照射激光从而割断所述玻璃薄膜的割断工序的玻璃薄膜的制造方法,其特征在于,所述割断工序具备:由具有开口部的平台支承所述玻璃薄膜的下表面,并且由所述开口部吸引所述玻璃薄膜的工序;对被所述开口部吸引的所述玻璃薄膜照射所述激光的工序。
根据这一构成,在割断工序中,利用平台的开口部,吸引沿着搬送方向被搬送的带状的玻璃薄膜的一部分,由此能够防止被吸引的玻璃薄膜的部分发生褶皱,或者可以使玻璃薄膜上已发生的褶皱消失。通过对玻璃薄膜的吸引部分照射激光而进行割断,能够确实地防止割断面(端面)的不良发生。
另外,优选所述割断工序中,具备由具有规定的通过线的搬送装置搬送所述玻璃薄膜的工序,所述平台具备支承所述玻璃薄膜的支承部,所述支承部的上表面与所述通过线相比位于上方。如此,通过将平台的支承部的上表面与通过线相比配置在上方,从而在由搬送装置搬送的玻璃薄膜通过平台时被支承部推起。由此,能够有效地防止通过平台时的玻璃薄膜发生褶皱。
在上述的方法中,所述支承部构成为,与所述开口部相比在所述搬送方向的下游侧支承所述玻璃薄膜,所述割断工序具备朝向与所述开口部相比在下游侧被所述支承部支承的所述玻璃薄膜放出制冷剂的冷却工序。
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