[发明专利]与外涂覆的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物

权利要求书

1.一种用于形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法，其包括：

a)在基底上施加一层涂料组合物，所述涂料组合物包含：1)树脂；和2)PDQ化合物；以及

b)在所述涂料组合物层上施加一层光致抗蚀剂组合物。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述PDQ化合物具有氨基磺酸根阴离子或羧酸根阴离子。

3.如权利要求2所述的方法，其中，所述PDQ化合物包含pKa大于0的阴离子。

4.如权利要求1所述的方法，其中，所述PDQ化合物具有下式(A)或(B)的结构：

其中：

R₁和R₂各自独立地为氢、取代或未取代的C₁-C₁₂烷基、取代或未取代的C₃-C₁₂环烷基、或取代或未取代的苯基；

R₃为取代或未取代的C₁-C₁₂烷基、取代或未取代的C₃-C₁₂环烷基、或取代或未取代的苯基；并且

Y是阳离子。

5.如权利要求4所述的方法，其中，Y是：

6.如权利要求4或5所述的方法，其中，R₁和R₂独立地为氢、甲基、环己基、金刚烷基或被金刚烷基取代的C₁-C₃烷基和/或R₃是金刚烷基。

7.如权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，所述PDQ化合物是：

8.如权利要求1至7中任一项所述的方法，其中，所述树脂包含异氰尿酸酯基团。

9.如权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，所述涂料组合物进一步包含各自不同于所述PDQ化合物和所述树脂的1)交联剂组分和/或2)热酸产生剂化合物。

10.一种经涂覆的基底，其包括：

基底，其上具有：

a)涂料组合物，其包含：

1)树脂；和

2)PDQ化合物；以及

b)在所述涂料组合物层上的一层光致抗蚀剂组合物。

11.一种用于与外涂层光致抗蚀剂组合物一起使用的涂料组合物，所述涂料组合物包含：

1)树脂；和

2)PDQ化合物。

12.如权利要求11所述的涂料组合物，其中，所述PDQ化合物包含氨基磺酸根阴离子或羧酸根阴离子。

13.如权利要求11或12所述的涂料组合物，其中，所述涂料组合物进一步包含各自不同于所述PDQ化合物和所述树脂的1)交联剂组分和/或2)热酸产生剂化合物。