[发明专利]用于衬底容器的检查系统和方法在审
| 申请号： | 201880037965.4 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN110914967A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·温德尔 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化(德国)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国拉多*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 容器 检查 系统 方法 | ||
1.构造和适用于检查衬底容器或衬底容器的部件的检查系统，该容器或部件包括多个表面，该系统包括至少一个镜子(120)，镜子(120)被布置和构造成提供多个表面中至少第一表面和第二表面的同时视图。
2.根据权利要求1的检查系统，适用于并构造为检查包括前表面和多个内侧表面和/或外侧面的容器或部件，以及至少一个镜子(120)被布置成提供前表面和多个侧表面中的至少一个的同时视图。
3.根据上述权利要求中任一项的检查系统，其中至少一个镜子(120)设置成相对于容器或部件以可平移和/或可枢转的方式可移动。
4.根据上述权利要求中任一项的检查系统，包括相机(140)，相机(140)构造成并适用于捕获多个表面中的至少第一表面和第二表面的同时视图的图像。
5.根据权利要求4的检查系统，其中相机(140)被构造为并适用于捕获前表面和多个侧面中的至少一个的图像。
6.根据权利要求4或5中任一项的检查系统，其中至少一个相机(140)设置为线扫描相机或区域扫描相机。
7.根据上述权利要求中任一项的检查系统，其中相机(140)设置成相对于容器或部件以可平移和/或可枢转的方式可移动。
8.根据权利要求4-7中任一项的检查系统，包括评估单元(160)，评估单元(160)适用于且构造为基于相机(140)捕获的至少一个图像来评估容器或部件的状态。
9.根据权利要求8的检查系统，其中，评估单元(160)适用于并构造为提供由相机(140)捕获的至少一个图像的图像分析。
10.根据上述权利要求中任一项的检查系统，其适用于和构造为检查前开式晶圆传送盒(FOUP)，特别是FOUP的本体构件和/或盖构件。
11.用于检查包含多个表面的衬底容器的部件或衬底容器的方法，该方法包括步骤：
-将要检查的容器或部件定位在检查系统内或其附近，该检查系统包括至少一个镜子，用于提供多个表面中的至少第一表面和第二表面的同时视图；
-捕获多个表面中的第一表面和第二表面的同时视图的图像，特别是使用根据权利要求4-7中任一项的相机(140)；
-评估容器或部件的状态，特别是使用根据权利要求8或9的评估单元。
12.根据权利要求11的方法，进一步利用根据权利要求1-10中任一项的检查系统。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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