[发明专利]应变仪和多轴力传感器在审
申请号: | 201880037802.6 | 申请日: | 2018-07-05 |
公开(公告)号: | CN110709682A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 稻森道伯 | 申请(专利权)人: | 美蓓亚三美株式会社 |
主分类号: | G01L5/16 | 分类号: | G01L5/16;G01L1/22 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 姜越;金雪梅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应变感应元件 固定电阻元件 应变部件 惠斯通电桥电路 非感应区域 感应区域 应变区域 多轴力传感器 材料形成 方向正交 应变仪 检测 基材 测量 配置 | ||
1.一种应变仪,安装于承受载荷而产生应变的应变部件,并用于进行作用于所述应变部件的第1方向的载荷的基于第1惠斯通电桥电路的检测、和作用于所述应变部件的与第1方向正交的第2方向的载荷的基于第2惠斯通电桥电路的检测,其中,
所述应变仪具备:
基材;和
电路图案,形成于所述基材上,
所述基材具有安装于所述应变部件的承受载荷而产生应变的应变区域的感应区域、和配置于所述应变区域的外侧的非感应区域,
所述电路图案包括构成第1惠斯通电桥电路的两个第1方向应变感应元件、构成第2惠斯通电桥电路的两个第2方向应变感应元件、以及构成第1惠斯通电桥电路的第1方向固定电阻元件与构成第2惠斯通电桥电路的第2方向固定电阻元件的至少一方,
所述两个第1方向应变感应元件、所述两个第2方向应变感应元件、以及所述第1方向固定电阻元件与第2方向固定电阻元件的至少一方由相同材料形成,
所述两个第1方向应变感应元件和所述两个第2方向应变感应元件形成于所述感应区域,所述第1方向固定电阻元件与第2方向固定电阻元件的至少一方形成于所述非感应区域。
2.根据权利要求1所述的应变仪,其中,
所述电路图案包括构成第1惠斯通电桥电路的两个第1方向固定电阻元件、和构成第2惠斯通电桥电路的两个第2方向固定电阻元件,
所述两个第1方向应变感应元件、所述两个第2方向应变感应元件、所述两个第1方向固定电阻元件、以及所述两个第2方向固定电阻元件由相同材料形成,
所述两个第1方向固定电阻元件、和所述两个第2方向固定电阻元件形成于所述非感应区域。
3.根据权利要求1或2所述的应变仪,其中,
所述电路图案还包括至少一个端子,
所述至少一个端子形成于所述非感应区域。
4.根据权利要求3所述的应变仪,其中,
在所述非感应区域,所述至少一个端子设置于所述第1方向固定电阻元件与第2方向固定电阻元件的至少一方的与所述感应区域相反的一侧。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的应变仪,其中,
所述非感应区域在所述感应区域的两侧设置有一对。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的应变仪,其中,
所述电路图案还包括两个第3方向应变感应元件或者两个第3方向固定电阻元件,
所述两个第3方向应变感应元件或者两个第3方向固定电阻元件将第1惠斯通电桥电路与第2惠斯通电桥电路连接从而构成第3惠斯通电桥电路。
7.根据权利要求1所述的应变仪,其中,
所述基材具有挠性,
所述基材还具有将所述感应区域与所述非感应区域连结的连结区域,
所述连结区域的与将所述感应区域和所述非感应区域连结的方向正交的正交方向的尺寸小于所述感应区域及所述非感应区域的正交方向的尺寸。
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