[发明专利]用于减少的制造环境占用空间的竖直多批次磁性退火系统

权利要求书

1.一种对多批次工件进行退火的制造系统，包括：

第一退火系统，其被定位在制造底板上，所述第一退火系统包括：

竖直熔炉，其具有处理空间；

工件船，其承载至少一百个工件；

船装载器，其被布置在所述竖直熔炉下方并且被配置成竖直平移所述工件船并将所述工件定位在所述处理空间内；以及

磁体，其被定位在所述竖直熔炉外部并且被配置成在所述处理空间内产生磁场；以及

第二退火系统，其被定位在所述制造底板上，所述第二退火系统包括：

竖直熔炉，其具有处理空间；

工件船，其承载至少一百个工件；

船装载器，其被布置在所述竖直熔炉下方并且被配置成竖直平移所述工件船并将所述工件定位在所述处理空间内；以及

磁体，其被定位在所述竖直熔炉外部并且被配置成在所述处理空间内产生磁场；

其中，所述第一退火系统和所述第二退火系统被定位在所述制造底板上，以具有小于9.5m²(平方米)的组合占用空间。

2.根据权利要求1所述的制造系统，其中，用于所述第一退火系统的磁体和用于所述第二退火系统的磁体各自包括竖直无源磁体。

3.根据权利要求1所述的制造系统，其中，所述第一退火系统和所述第二退火系统还被配置成：具有小于3.5米至4.2米之间的高度限制的组合竖直占用空间。

4.根据权利要求1所述的制造系统，其中，用于所述第一退火系统的磁体和用于所述第二退火系统的磁体各自具有在距所述磁体的中间竖直轴的距离X内减小到5高斯的磁场，其中，0.4米≤X≤1.1米。

5.根据权利要求4所述的制造系统，其中，用于所述第一退火系统的磁体和用于所述第二退火系统的磁体各自在用于每个退火系统的处理空间内提供高达水平M的磁场，其中，M≥1特斯拉。

6.根据权利要求5所述的制造系统，其中，与所述第二退火系统相关联的5高斯场线与和所述第一退火系统相关联的5高斯场线不交叠，或者与所述第二退火系统相关联的5高斯场线与和所述第一退火系统相关联的5高斯场线交叠小于或等于所述距离X的10％。

7.根据权利要求5所述的制造系统，其中，与所述第二退火系统相关联的5高斯场线与和所述第一退火系统相关联的5高斯场线不交叠，或者与所述第二退火系统相关联的5高斯场线与和所述第一退火系统相关联的5高斯场线交叠小于或等于所述距离X的0.2％。

8.根据权利要求1所述的制造系统，其中，所述第一退火系统和所述第二退火系统以偏移、并排布置被定位。

9.根据权利要求8所述的制造系统，还包括：位于所述第一退火系统附近的第一组电气、气体和水系统；以及位于所述第二退火系统附近的第二组电气、气体和水系统。

10.根据权利要求8所述的制造系统，还包括：第一维护区域，其位于所述第一退火系统和所述第二退火系统的第一边缘附近以用于进入所述第一退火系统；以及第二维护区域，其位于所述第一退火系统和所述第二退火系统的第二边缘附近以用于进入所述第二退火系统。