[发明专利]测量方法和设备

权利要求书

1.一种非暂态计算机可读存储介质，存储有一个或多个程序，所述一个或多个程序包括机器可读指令，所述机器可读指令被配置为使处理器引起方法的执行，所述方法包括：

获得使用图案化工艺在衬底上待形成的图案的轮廓的模拟；

通过硬件计算机系统确定评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的位置，所述位置与对应评估点在所述图案的设计布局上的位置在空间上相关联；以及

通过所述硬件计算机系统产生电子信息，所述电子信息与在所模拟的所述轮廓上的所述评估点的所述位置和所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置之间的空间方位相对应，其中与所述空间方位对应的所述电子信息被配置用于确定评估点在所述图案的至少一部分的测量图像上的位置，所述测量图像上的所述评估点与所述设计布局上的所述对应评估点在空间上相关联。

2.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中通过所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置是作为所述轮廓与所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置之间的基本上最短距离的所模拟的所述轮廓上的所述位置，所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置与所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置在空间上相关联。

3.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中与所述空间方位对应的所述电子信息包括：所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置和/或所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置、以及在所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置与所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置之间的方向。

4.根据权利要求3所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方向包括角度和斜率。

5.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中与所述空间方位对应的所述电子信息包括：所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的位置、和所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置。

6.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：

获得在衬底上形成的所述图案的至少一部分的测量图像；

基于与所述空间方位对应的所述电子信息确定所述评估点在所述图案的至少一部分的所述测量图像上的所述位置，所述测量图像上的所述评估点与所述设计布局上的所述对应评估点在空间上相关联；以及

基于所确定的所述位置输出空间参数信息。

7.根据权利要求6所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：确定所述评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的所述位置和与所述图案的所述至少一部分的所述测量图像上的所述评估点相关联的测量之间的距离，并且其中所述空间参数信息包括所确定的所述距离。

8.根据权利要求6所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：基于所述空间参数信息，执行表示所述图案化工艺的至少一部分的数学模型的校准。

9.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：执行计算机模拟以产生所述图案的所模拟的所述轮廓。

10.根据权利要求6所述的非暂态计算机可读存储介质，其中针对所述图案的所述至少一部分的多个不同实例来确定所述评估点在所述图案的所述至少一部分的所述测量图像上的所述位置，并且所述空间参数信息基于所确定的所述位置的数学组合，或

其中所述图案的所述至少一部分的所述测量图像是所述图案的所述至少一部分的不同实例的图像的组合。

11.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读存储介质，其中所述方法进一步包括：评估在所述衬底上形成的所述图案、以及根据所述方法的结果控制所述衬底的所述图案化工艺。