[发明专利]检查系统以及检查方式

权利要求书

1.一种检查系统，其特征在于，具备：

检查用照明装置，其向检查对象照射检查光，并且能够将照射到所述检查对象的各点的检查光的照射立体角设定为，具有不同的光属性的多个立体角区域以光轴为中心并以放射状配置，并且沿圆周方向相邻；以及

拍摄装置，其为拍摄在所述检查对象的各点中反射或者透射或者散射的物体光的拍摄装置，并能够选择性地拍摄所述物体光的不同的光属性，

在所述检查对象的各点中，能够将所述物体光的光轴的变化、或者针对由拍摄装置形成的所述检查对象的各点的相对于观察立体角的所述物体光的立体角的变化，在与所述观察立体角的包含关系中，作为由所述检查光的所述多个立体角区域引起的具有多个光属性的所述物体光的变化进行检测，并根据该多个光属性中的每一个光属性的所述物体光的变化量，对所述检查对象的各点中的多个方向的倾斜，特定倾斜的方向和该倾斜的角度，并特定所述检查对象的表面的三维性质。

2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，

所述检查用照明装置具备半透半反镜，该半透半反镜改变所述检查光的照射方向，而且使来自所述检查对象的光透射从而能够利用所述拍摄装置拍摄，

作为所述检查光针对所述检查对象的各点的照射立体角，使所述立体角区域和所述拍摄装置针对所述检查对象的各点的观察立体角的光轴相一致。

3.根据权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，

在利用所述检查用照明装置向所述检查对象照射检查光的照射立体角中，基于所述拍摄装置在所述检查对象的各点中的观察立体角的形状以及大小以及倾斜，将所述检查对象的各点中的所述立体角区域的形状以及大小以及倾斜，设定为适合获取所需的浓淡信息，或者设定为所述立体角区域和所述观察立体角的形状以及大小以及倾斜相对地大致均匀。

4.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，

在所述检查对象的各点中的所述观察立体角，设定为小于所述照射立体角，使在所述照射立体角内形成的具有不同的光属性的多个立体角区域，大致连续地变化，以便在从所述检查对象的各点返回的所述物体光的光轴的倾斜发生变化时，能够将所述光轴的倾斜的变化作为具有多个光属性的所述物体光的变化检测出来。

5.一种检查方法，其特征在于，

使用权利要求1至4中任一项所述的检查系统，利用物体光的多个光属性的变化来特定所述检查对象的三维形状。