[发明专利]感光性树脂组合物、聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其包含：

选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的聚合物前体；

光自由基聚合引发剂；及

溶剂，

聚合物前体中所含有的中和点的pH在7.0～12.0的范围的酸基的酸值在2.5mgKOH/g～34.0mgKOH/g的范围，

所述聚合物前体具有自由基聚合性基，或者所述感光性树脂组合物包含除了所述聚合物前体以外的自由基聚合性化合物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

所述聚合物前体中所含有的中和点的pH在7.0～12.0的范围的酸基的酸值在5.5mgKOH/g～17.0mgKOH/g的范围。

3.一种感光性树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的聚合物前体、光自由基聚合引发剂及溶剂，聚合物前体包含羧基，所述聚合物前体具有自由基聚合性基，或者所述感光性树脂组合物包含除了所述聚合物前体以外的自由基聚合性化合物。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述聚合物前体包含由下述式(1)表示的重复单元或由式(2)表示的重复单元；

式(1)

式(1)中，A¹及A²分别独立地表示氧原子或NH，

R¹¹¹表示2价有机基团，R¹¹⁵表示4价有机基团，R¹¹³及R¹¹⁴分别独立地表示氢原子或1价有机基团；

式(2)

式(2)中，R¹²¹表示2价有机基团，R¹²²表示4价有机基团，R¹²³及R¹²⁴分别独立地表示氢原子或1价有机基团；

由所述式(1)表示的重复单元的至少一种为-C(＝O)A²-R¹¹³及-C(＝O)A¹-R¹¹⁴中的至少一个含有所述中和点的pH在7.0～12.0的范围的酸基的重复单元，

由所述式(2)表示的重复单元的至少一种包含：-R¹²²-O-R¹²³及-R¹²²-O-R¹²⁴中的至少一个含有所述中和点的pH在7.0～12.0的范围的酸基的重复单元。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中，

由所述式(1)表示的重复单元的至少一种为R¹¹³及R¹¹⁴中的至少一个含有自由基聚合性基的重复单元，或者，

由所述式(2)表示的重复单元的至少一种为R¹²³及R¹²⁴中的至少一个含有自由基聚合性基的重复单元。

6.根据权利要求4或5所述的感光性树脂组合物，其中，

所述聚合物前体包含由式(1)表示的重复单元。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含除了所述聚合物前体以外的自由基聚合性化合物。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含热产碱剂。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含光产碱剂。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含阻聚剂。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物，其用于使用包含有机溶剂的显影液的显影中。