[发明专利]颗粒传感器和用于该颗粒传感器的制造方法

权利要求书

1.颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，该颗粒传感器具有基体(110)、用于给流经所述基体(110)的第一表面(110a)的流体流(A1)中的颗粒充电的颗粒充电装置(120)和用于使所述流体流(A1)的带电微粒偏转的陷阱电极(130)，其中，所述颗粒充电装置(120)和所述陷阱电极(130)布置在所述基体(110)的所述第一表面(110a)上。

2.根据权利要求1所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，所述第一表面(110a)是所述基体(110)的外表面。

3.根据前述权利要求中任一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，所述颗粒充电装置(120)具有用于产生电晕放电(123)的高压电极(122)。

4.根据权利要求3所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，所述颗粒充电装置(120)具有相对于所述高压电极(122)的对应电极(124；124a；124b；124c)。

5.根据权利要求4所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，所述对应电极(124；124a；124b)同样布置在所述第一表面(110a)上。

6.根据权利要求4或5所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，相对于所述高压电极(122)的所述对应电极(124a；124b；124c)同时形成相对于所述陷阱电极(130)的对应电极。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，所述对应电极(124a；124b；124c)至少在所述对应电极的第一区域(1241)中布置在所述第一表面(110a)上，并且其中，所述对应电极(124a；124b；124c)的不同于所述第一区域(1241)的第二区域(1242)从所述第一表面(110a)突出。

8.根据前述权利要求中任一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，设置有用于感测关于电荷流的信息的至少一个传感器电极(140)，该电荷流由所述流体流(A1)中的已经借助于所述颗粒充电装置(120)充电的颗粒引起，其中，所述至少一个传感器电极(140)同样布置在所述第一表面(110a)上。

9.传感器装置(1000)，该传感器装置具有由两个彼此同心地布置的管(R1、R2)组成的保护管组件和至少一个根据前述权利要求中任一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)，其中，所述至少一个颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)布置在这两个管(R1、R2)之中的内管(R1)中，使得所述颗粒传感器的第一表面(110a)基本上平行于所述内管(R1)的纵轴线(LA)地定向。

10.用于制造颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d)的方法，该颗粒传感器具有基体(110)、用于给流经所述基体(110)的第一表面(110a)的流体流(A1)中的颗粒充电的颗粒充电装置(120)和用于使所述流体流(A1)的带电微粒偏转的陷阱电极(130)，其中，所述方法包括以下步骤：提供(200)所述基体(110)，将所述颗粒充电装置(120)和所述陷阱电极(130)布置(210)在所述基体(110)的所述第一表面(110a)上。