[发明专利]谐振器以及谐振装置

说明书

本发明在谐振器中，在抑制DLD的偏差的同时改善DLD。具备：振动部，具有多个振动臂以及基部，其中，上述多个振动臂为分别具有固定端和开放端的3根以上的振动臂，且至少2根振动臂以不同的相位进行面外弯曲，上述基部具有与上述多个振动臂的固定端连接的前端、和与该前端对置的后端；保持部，设置于上述振动部的周围的至少一部分；保持臂，设置于上述振动部与上述保持部之间，一端与上述基部连接，另一端与上述保持部连接；以及多个孔，形成于上述振动部，上述多个孔分别形成于上述基部中的上述多个振动臂中的任意彼此相邻的振动臂之间的区域。

技术领域

本发明涉及多个振动臂以面外的弯曲振动模式振动的谐振器以及谐振装置。

背景技术

以往，使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微电子机械系统)技术的谐振装置例如被用作定时设备。该谐振装置安装在设置于智能电话等电子设备内的印刷电路基板上。谐振装置具备下侧基板、在与下侧基板之间形成空腔的上侧基板、以及在下侧基板与上侧基板之间配置于空腔内的谐振器。

例如在专利文献1中公开了具备多个振动臂的谐振器。在该谐振器中，振动臂在其固定端与基部的前端连接，基部在与前端相反侧的后端与支承部连接。在专利文献1所记载的谐振器中，通过将基部设定为其长度(从前端朝向后端的方向)比宽度小，从而基部本身成为容易弯曲位移的结构。由此，可实现DLD(Drive Level Dependency：激励功率依赖性)的改善。

专利文献1：国际公开第2016/175218号

伴随着蚀刻的形状精度本身不管基部长度的长短如何几乎恒定。因此，若为了改善DLD而缩短基部长度，则蚀刻偏差相对于基部长度的比率增大，由此对DLD偏差的影响增大，所以有进一步改善的余地。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的是在谐振器中，在抑制DLD的偏差的同时改善DLD。

本发明的一个方面的谐振器具备：

振动部，具有多个振动臂以及基部，其中，上述多个振动臂为分别具有固定端和开放端的3根以上的振动臂，且至少2根振动臂以不同的相位进行面外弯曲，上述基部具有与上述多个振动臂的固定端连接的前端、和与该前端对置的后端；

保持部，设置于上述振动部的周围的至少一部分；

保持臂，设置于上述振动部与上述保持部之间，一端与上述基部连接，另一端与上述保持部连接；以及

多个孔，形成于上述振动部，

上述多个孔分别形成于上述基部中的上述多个振动臂中的任意彼此相邻的振动臂之间的区域。

另外，优选上述多个孔形成于上述基部中的比上述后端更接近上述前端的区域。

另外，优选上述多个孔形成于上述基部中的相互以反相振动的彼此相邻的振动臂之间的区域。

本发明的一个方面的谐振器具备：

振动部，具有多个振动臂以及基部，其中，上述多个振动臂为分别具有固定端和开放端的3个以上的振动臂，且至少2个振动臂以不同的相位进行面外弯曲，上述基部具有与上述多个振动臂的固定端连接的前端、和与该前端对置的后端，

保持部，设置于上述振动部的周围的至少一部分；

保持臂，设置于上述振动部与上述保持部之间，一端与上述基部连接，另一端与上述保持部连接；以及

多个孔，形成于上述振动部，

上述多个孔分别形成于上述多个振动臂中的任意振动臂中的比上述开放端更接近上述固定端的区域。

另外，优选上述多个孔分别形成于上述多个振动臂所排列的方向上的该振动臂的中央附近。