[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供一种真空泵，其包括具有简便、冷却效率良好、生产率良好的冷却结构的壳体。本发明的一个实施方式的真空泵具有泵壳体和冷却管。所述泵壳体由铸铁构成。所述冷却管具有外周面和内周面，并由不锈钢构成。所述冷却管贯通所述泵壳体，与所述泵壳体密接的所述外周面由敏化层构成。该真空泵是将由铸铁构成的泵壳体铸造在由不锈钢构成的冷却管的周围而形成的。在冷却管的外周面设置敏化层，敏化层与泵壳体密接，泵壳体高效地被冷却。

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

作为容积型的干式真空泵，已知有例如双螺杆泵。此种螺杆泵具有一对螺杆转子、收容一对螺杆转子的壳体和使一对螺杆转子旋转的驱动机构。通过这一对螺杆转子旋转，气体从壳体的进气口被输送到排气口，从而真空容器内的气体被排出(例如，参考专利文献1)。

有时壳体在一对螺杆转子长时间一直工作的情况下被加热成高温。因此，壳体通常采用风冷方式或水冷方式进行冷却。并且，在希望真空泵紧凑化的情况下，在作为其一部分的壳体中如何形成简便且高效的冷却结构变得重要。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-185778号公报。

发明内容

发明要解决的问题

关于上述冷却结构，由于需要简便的冷却结构，所以需要采用循环型冷却结构。另外，作为冷却介质，一般使用冷却效率比油、冷却液高且容易处理的水。另外，若冷却介质是水，则适合对水的耐受性高的不锈钢制的冷却管。但是，在使用不锈钢制的冷却管的情况下，重要的是设法使不锈钢制的冷却管与壳体均匀地密接，并且不使其敏化至不锈钢制的冷却管的内周面。

鉴于如上这样的情况，本发明的目的在于提供一种真空泵，其包括具有简便、冷却效率良好、生产率良好的冷却结构的壳体。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空泵具有：泵壳体和冷却管。上述泵壳体由铸铁构成。上述冷却管具有外周面和内周面，并由不锈钢构成。上述冷却管贯通上述泵壳体，与上述泵壳体密接的上述外面由敏化层构成。

该真空泵是将由铸铁构成的泵壳体铸造在由不锈钢构成的冷却管的周围而形成的。由此，简便地形成了具有贯通泵壳体的冷却管的真空泵。进而，在冷却管的外周面设置敏化层，敏化层与泵壳体密接，泵壳体高效地被冷却。

在上述真空泵中可以进一步具有收容在上述泵壳体内的第一螺杆转子和第二螺杆转子，该第一螺杆转子具有螺旋状的第一齿部，第二螺杆转子具有与上述第一齿部啮合的螺旋状的第二齿。

如果是这种真空泵，则即使使一对螺杆转子长时间工作，泵壳体也能够通过设置在泵壳体的冷却管而高效地被冷却。

在上述真空泵中，上述冷却管具有第一冷却管部和与上述第一冷却管部并列的第二冷却管部。上述第一螺杆转子和上述第二螺杆转子被上述第一冷却管部和上述第二冷却管部所夹持。

如果是这种真空泵，则在泵壳体中以夹持一对螺杆转子的方式设置第一冷却管部和第二冷却管部。由此，泵壳体被均匀地冷却。

在上述真空泵中，上述冷却管还具有连接管部，该连接管部对上述第一冷却管部和上述第二冷却管部进行连结，并设置在上述泵壳体之外。上述第一冷却管部、上述连接管部和上述第二冷却管部被依次串联连结，并构成为一体。

如果是这种真空泵，则由于冷却管由第一冷却管部、连接管部和第二冷却管部串联地连接，并构成为一体，因此冷却管成为简便的结构。

在上述真空泵中，上述冷却管的厚度可以是1mm以上且5mm以下。