[发明专利]研磨和/或腐蚀机，以及测定和/或核对机器的方法

说明书

本发明涉及研磨和/或腐蚀机(10)以及用于测定和核对具有多个机器轴线(12)的组件(11)的方法，每一个机器轴线可以由旋转或平移机器轴线形成。为此，将测量盘(28)插入工具主轴(13)中，并将测试计(27)插入工件保持设备(14)中。测试计(27)电连接到参考电势，优选地连接到接地(M)。测量盘(28)电连接到电源电压电势(UV)。通过在测量盘(28)与测试计(27)之间建立接触，测量电流(IM)在电源电压电势(UV)与参考电势之间流动，例如从电源电压电势(UV)流到接地(M)。可以在监测设备(31)中检测测量电流(IM)的流动，并且可以确定测量电流(IM)的电流流动开始时机器轴线(12)的当前位置。经由轴线组件(11)，可以接近测量盘(28)与测试计(27)之间的一个或多个接触位置(K)，并且因此，可以核对或测量轴线组件(11)或机器。

技术领域

本发明分别涉及研磨和/或腐蚀机，以及用于测定和核对机器的方法。

背景技术

一种研磨和/或腐蚀机包括多个机器轴线，以允许待处理的工件相对于工具移动和定位。为了精确加工，需要知道机器轴线相对于机器基座或机器框架的静止坐标系的位置。

公开文件DE 10 2008 004 849 B4建议提供多轴线核对传感器布置，以便在中断期间利用用于加工的部件和平移以及旋转的轴线来执行核对程序，因为工件保持设备与工件之间的相对位置是在几个维度上确定的。为此，多轴线核对传感器布置包括分别用于每个空间方向的一个核对传感器，在这种情况下，所述核对传感器可以被配置为接触传感器或接近传感器。

使用接触传感器或力传感器时，必须确保可以非常精确地调节工具或工件被压在相应核对传感器上使用的力。因此，对传感器准确度和一致性的要求非常高。如果使用接近传感器，则必须高度准确地调节这些传感器，以便设置检测到接近元件的位置。所有类型的传感器必须以最小的公差显示高检测准确度。此外，接触传感器、力传感器或接近传感器在机器工具中的使用经常会出现问题，因为它们暴露于碎屑、冷却流体等造成的污染中。

发明内容

因此，本发明的目的可以被认为是提供一种研磨和/或腐蚀机，以及一种测定或核对机器的方法，所述测定和核对以简单的方式提供高准确度。

这个目的通过显示专利权利要求1的特征的研磨和/或腐蚀机以及显示专利权利要求16的特征的方法来实现。

根据本发明，研磨和/或腐蚀机包括工具主轴，该工具主轴可以围绕主轴轴线被驱动，在工具主轴处可以布置研磨或腐蚀工具。提供了用于待加工的工件的工件保持设备。该机器包括机器轴线布置，机器轴线布置具有多个机器轴线。每个机器轴线可以被配置为旋转或平移机器轴线。可以提供多达六个机器轴线，每个机器轴线被设置成相对于工件保持设备或布置在那里的工件定位或移动工具主轴或设置在工具主轴处的工具，以便能够执行期望的过程。位置检测设备检测存在的机器轴线中的每一个的位置。为了实现这一点，位置检测设备可以包括位置传感器，其测量相应平移或旋转自由度内的位置。位置检测设备还可以基于作为相应位置特性的其他参数来确定机器轴线的位置。因此，可以基于直接测量的实际位置值或者基于描述该实际位置的间接参数来进行位置检测。

导电测量体，优选地为导电测试心轴，以及导电测量盘，用于测定或核对。分别地，一个第一测量体，特别是测试心轴，可以布置在工件保持设备中，而另一个第二测量体，特别是测量盘，可以布置在工具主轴中。为了测定或核对，第二测量体连接到电源电压电势，使得在第二测量体上施加电压，所述电压优选对应于电源电压电势。布置在工件保持设备中的第一测量体电连接到低于电源电压电势的限定参考电势。参考电势优选充当接地电势(0伏)。此外，第二测量体连接到监测设备。