[发明专利]处理方法及处理系统

权利要求书

1.一种处理方法，是借由光束的照射对既定面上的目标部位实施处理，其特征在于其包括：

供给液体；

将前述既定面上的包含前述目标部位的一部分区域设为非液浸状态；及

在已将包含前述目标部位的一部分区域设为非液浸状态的状态下，对前述目标部位照射光束以对前述目标部位实施前述处理。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于：以包含前述目标部位的一部分区域成为非液浸状态的方式，进行前述所供给的液体的处理。

3.根据权利要求1或2所述的处理方法，其特征在于：前述光束不经由前述所供给的液体而被照射至前述目标部位。

4.一种处理方法，是借由光束的照射对既定面上的目标部位实施处理，其特征在于其包括：

供给液体；及

不经由前述所供给的液体而对前述目标部位照射光束，以对前述目标部位实施前述处理。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的处理方法，其特征在于：以将前述光束不经由前述所供给的液体而照射至前述目标部位的方式，进行前述所供给的液体的处理。

6.一种处理方法，是借由光束的照射对既定面上的目标部位实施处理，其特征在于其包括：

供给液体；

以前述光束的光路成为气体空间的方式，进行所供给的前述液体的处理；及

将光束经由前述气体空间照射至前述目标部位，以对前述目标部位实施前述处理。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的处理方法，其特征在于：对前述目标部位的光束的照射是在前述既定面上存在由所供给的前述液体覆盖的区域及未由所供给的前述液体覆盖的区域的状态下进行。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的处理方法，其特征在于：前述液体供给至设置于可动载台上的槽内，且

前述处理是对配置于前述槽内的前述既定面上的目标部位进行。

9.根据权利要求8所述的处理方法，其特征在于：与前述载台的上下方向的位置的变化相对应地控制前述槽内的前述液体的量。

10.根据权利要求9所述的处理方法，其特征在于：与前述处理的进行相对应地控制前述槽内的前述液体的量。

11.根据权利要求9或10所述的处理方法，其特征在于：以将供给至前述槽内的液体的液面维持于高于前述既定面的位置的方式控制前述槽内的前述液体的量。

12.根据权利要求2至11中任一项所述的处理方法，其特征在于：前述液体的处理包括前述液体的去除。

13.根据权利要求2至12中任一项所述的处理方法，其特征在于：前述液体的处理包括气体的供给。

14.根据权利要求13所述的处理方法，其特征在于：借由前述气体的供给吹散前述液体。

15.根据权利要求13或14所述的处理方法，其特征在于：借由前述气体的供给，而限制所供给的前述液体进入至既定空间。

16.根据权利要求13至15中任一项所述的处理方法，其特征在于：前述气体为惰性气体。

17.根据权利要求1至16中任一项所述的处理方法，其特征在于：借由前述液体的供给，而进行具有前述既定面的物体的温度调整、或具有前述既定面的物体的冷却。