[发明专利]微型泵系统和处理技术

权利要求书

1.一种微型泵，包括：

多个微型泵元件，每个微型泵元件包括：

泵体，具有壁、多个入口端口以及多个出口端口，所述壁包围被分隔为多个隔室的泵室，所述多个入口端口各自使流体通畅地流入所述多个隔室中的对应隔室，所述多个出口端口各自使流体通畅地流出所述多个隔室中的对应隔室；

多个膜片，设置在泵室中，所述多个膜片固定至所述泵体的壁，且所述多个膜片将所述室分隔以提供所述多个隔室；以及

多个电极，所述多个电极中的第一对设置在所述泵体的一对相对的壁上，且所述多个电极中的其余电极中的每一个设置在所述多个膜片中的对应膜片的主表面上；

所述多个微型泵元件以串联连接配置布置，所述串联连接配置使得所述多个微型泵元件中的第一个微型泵元件的出口与所述多个微型泵元件中的紧邻的微型泵元件的入口流体连接。

2.如权利要求1所述的微型泵，其中所述多个微型泵元件包括输入元件、泵元件和输出元件。

3.如权利要求1所述的微型泵，其中所述多个微型泵元件是模块化的微型泵元件。

4.如权利要求1所述的微型泵，其中所述多个微型泵元件中的每一个包括一对端帽，所述一对端帽与所述泵体的壁一起形成所述室。

5.如权利要求1所述的微型泵，其中所述入口端口和所述出口端口在所述微型泵元件中的每一个的泵体的相对的壁上。

6.如权利要求1所述的微型泵，其中所述入口端口和所述出口端口在所述泵体的相对的壁上，所述微型泵元件中的第一个微型泵元件的入口端口配置为连接到流体源，且所述微型泵元件中的最后一个微型泵元件的出口端口配置为连接到储存槽以储存来自所述微型泵的加压流体。

7.如权利要求1所述的微型泵，还包括：

驱动电路，向所述多个电极提供电压信号，所述电压信号使第一对相邻的膜片朝向彼此偏转以阻碍第一对应隔室中的流体流动，且使第二对相邻的膜片远离彼此偏转以在不同的第二对应隔室中提供通畅的流体流动。

8.如权利要求1所述的微型泵，还包括：

电压驱动器电路，以产生电压信号，所述电压信号被馈送到所述多个电极；

第一组电压信号使得，在所述多个微型泵元件中的第一微型泵元件中，所述多个隔室中的第一个隔室压缩，且所述多个隔室中的至少一个相邻的隔室基本上同时膨胀；并且

与所述第一组电压信号基本上同时施加的第二组电压信号使得，在所述多个微型泵元件中的第二相邻的一个微型泵元件中，所述多个隔室中的第一个隔室膨胀，且所述多个隔室中的至少一个相邻的隔室基本上同时压缩。

9.如权利要求1所述的微型泵，还包括：

电压驱动器电路，产生电压信号，所述电压信号根据序列被馈送到所述多个电极。

10.如权利要求9所述的微型泵，其中所述序列是蠕动序列。

11.如权利要求10所述的微型泵，其中所述蠕动序列具有六个相位。

12.如权利要求11所述的微型泵，其中所述蠕动序列的六个相位用于基本上由输入元件、泵元件和输出元件构成的所述多个微型泵元件：

011

001

101

100

110

010

其中0对应于隔室的打开或关闭中的第一个，1对应于隔室的打开或关闭中的不同的第二个，且所述相位中的每一个具有分别用于所述输入元件、所述泵元件和所述输出元件的值。

13.如权利要求1所述的微型泵，其中所述泵体的壁在相应隔室的每个内具有内部锥形边缘。