[发明专利]具有加速跟踪的高速扫描系统

权利要求书

1.一种用于对移动基板成像的光学扫描系统，包括：

a.平台，所述平台能够沿轴移动，所述平台被配置成保持包括多个场的基板；

b.物镜；

c.相机，所述相机能够通过所述物镜获取所述多个场中的一个场的图像，在所述图像的获取期间，经由从所述多个场中的一个场通过所述物镜到所述相机所限定的光路获取所述图像；

d.速度跟踪镜，所述速度跟踪镜沿所述光路安装；

e.第一电马达，所述第一电马达可操作地耦合到所述速度跟踪镜，以在所述光路中沿平台移动的所述轴调整所述速度跟踪镜的角度；

f.控制器模块，所述控制器模块可操作地耦合到所述第一电马达以将第一驱动信号发送到所述第一电马达，其中所述第一驱动信号是沿所述轴的所述平台移动的速度测量值的函数；

g.加速度跟踪镜，所述加速度跟踪镜沿所述光路安装；

h.第二电马达，所述第二电马达可操作地耦合到所述加速度跟踪镜，以在所述光路中沿平台移动的所述轴调整所述加速度跟踪镜的角度，其中所述控制器模块可操作地耦合到所述第二电马达，以将第二驱动信号发送到所述第二电马达，其中所述第二驱动信号是沿所述轴的平台速度变化的函数，并且其中与所述加速度跟踪镜不移动相比，所述速度跟踪镜和所述加速度跟踪镜的移动减小了所述相机对所述场的跟踪误差。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一电马达是检流计。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一驱动信号或所述第二驱动信号是电信号。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一驱动信号包括非正弦波形。

5.根据权利要求4所述的系统，其中所述非正弦波形是锯齿波。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述第二电马达是压电致动器。

7.根据权利要求1所述的系统，还包括线性位移传感器，所述线性位移传感器可操作地耦合到所述控制器模块，从而向所述控制器模块发送包括所述基板或所述平台的位置测量值的信号。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述第一驱动信号是从所述位置测量值确定的速度的函数。

9.根据权利要求7所述的系统，其中所述第二驱动信号是从所述位置测量值确定的速度变化的函数。

10.根据权利要求7所述的系统，其中所述线性位移传感器是线性编码器。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一驱动信号或所述第二驱动信号包括波形，该波形是场扫描频率的函数。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一驱动信号或所述第二驱动信号包括一波形，该波形是成像占空比的函数。

13.根据权利要求1所述的系统，其中所述跟踪误差被减小到小于0.1％。

14.根据权利要求1所述的系统，其中所述跟踪误差被减小到小于1个像素。

15.根据权利要求1所述的系统，其中所述速度跟踪镜和所述加速度跟踪镜是沿所述光路的相邻组件。

16.根据权利要求1所述的系统，包括多个相机。

17.根据权利要求16所述的系统，还包括沿所述光路安装的分束器，其中沿着所述光路，所述分束器安装在所述速度跟踪镜和加速度跟踪镜之后并且在所述多个相机之前。

18.根据权利要求1所述的系统，还包括照明路径，所述照明路径从照明元件延伸到所述多个场中的一个场。