[发明专利]陶瓷组件的制造

权利要求书

1.一种用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，所述具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末包含至少一种添加的元素或化合物，所述陶瓷粉末尤其是基于氧化锆和/或氧化铝和/或铝酸锶，其中，所述方法包括通过原子层沉积(ALD)在陶瓷粉末上沉积至少一种添加的元素或化合物的步骤(E3)。

2.根据前一项权利要求所述的用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，沉积步骤(E3)包括添加以陶瓷粉末不包含可能的有机化合物的总量计小于或等于3重量％，或小于或等于1重量％，或小于或等于0.05重量％，或小于或等于0.01重量％的所述至少一种添加的元素或化合物，所述至少一种添加的元素或化合物不包括有机化合物。

3.根据前述权利要求中任一项所述的用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，沉积步骤(E3)包括添加总量大于或等于1ppm，或大于或等于10ppm的所述至少一种添加的元素或化合物，所述至少一种添加的元素或化合物不包括有机化合物。

4.根据前述权利要求中任一项所述的用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，沉积步骤(E3)包括沉积选自金属、和/或金属合金、和/或氧化物、和/或氮化物、和/或碳化物中的添加的化合物。

5.根据前一项权利要求所述的用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，所述添加的元素或化合物是或包括选自以下四个列表中的至少一个列表中的至少一种金属：

-高熔点的贵金属，选自铂、铑、锇、钯、钌或铱；或

-任何其他金属，选自金、铝、银、铼、钛、钽或铌；或

-过渡金属，选自铝、铁、铬、钒、锰、钴、镍或铜；

-镧系元素，选自镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱或镥。

6.根据前述权利要求中任一项所述的用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，所述添加的化合物是通过将金属合金直接沉积在具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末上或者通过将金属合金或化合物的多种元素相继沉积或同时沉积在具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末上的组合所获得的金属合金。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，所述添加的元素或化合物是通过在具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末上直接沉积一种或多种金属的氧化物、碳化物或氮化物或者通过尤其是在沉积室中或在沉积之后，例如在烧结陶瓷化合物的步骤期间，使金属沉积物与反应性气氛反应而获得的所述一种或多种金属的氧化物、碳化物或氮化物。

8.根据前述权利要求中任一项所述的用于制造具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，沉积步骤(E3)包括同时沉积或相继沉积多种不同的添加的元素或化合物。

9.根据前述权利要求中任一项所述的具有或不具有粘合剂的陶瓷粉末的方法，其中，沉积步骤(E3)包括向具有粘合剂的陶瓷粉末中或向不包含有机化合物的陶瓷粉末中添加至少一种添加的元素或化合物，所述具有粘合剂的陶瓷粉末包括1重量％至4重量％、12重量％至25重量％、或者1重量％至25重量％的有机化合物。