[发明专利]真空泵、装备于真空泵的磁轴承部及轴杆

权利要求书

1.一种真空泵，

具备：

外装体，形成有吸气口和排气口；

轴杆，被内包于所述外装体；

磁轴承部，由固定在所述轴杆的规定的位置的径向电磁铁吸引对象件及与该径向电磁铁吸引对象件隔开规定的间隙而对置的径向电磁铁、以及固定在所述轴杆的规定的位置的径向传感器检测对象件及与该径向传感器检测对象件隔开规定的间隙而对置的径向传感器构成，将所述轴杆旋转自如地支承；

马达，由固定在所述轴杆的规定的位置的轴杆侧马达部及与该轴杆侧马达部隔开规定的间隙而对置的外装体侧马达部构成，使所述轴杆旋转；以及

旋转部，配设在所述轴杆，与该轴杆一起借助所述马达而旋转；

通过使所述旋转部高速旋转，将从所述吸气口吸入的气体向所述排气口移送；

其特征在于，

在所述磁轴承部中的比配设所述轴杆侧马达部的位置靠所述排气口侧，从所述轴杆的所述吸气口侧到所述排气口侧，依次配设有所述径向传感器检测对象件、所述径向电磁铁吸引对象件。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述磁轴承部具有第1间隔件和第2间隔件，所述第1间隔件固定在所述径向传感器检测对象件的所述吸气口侧，所述第2间隔件固定在所述径向传感器检测对象件与所述径向电磁铁吸引对象件之间。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述第1间隔件、所述第2间隔件至少某一方由层叠钢板形成。

4.如权利要求1～3中至少任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述马达在所述外装体侧马达部的与所述径向传感器对置的一侧具备屏蔽构造。

5.如权利要求1～4中至少任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述径向传感器是电感式的变位传感器。

6.一种磁轴承部，其特征在于，

装备于权利要求1～5中至少任一项所述的真空泵。

7.一种轴杆，其特征在于，

装备于权利要求1～5中至少任一项所述的真空泵。