[发明专利]像差校正方法和光学装置

权利要求书

1.一种像差校正方法，其特征在于，

包括：

将空间光调制器的调制面与对象物经由物镜光学耦合的耦合步骤；和

基于包含用于校正起因于所述对象物的折射率界面的像差的校正图案的调制图案，控制所述空间光调制器的控制步骤，

所述调制图案中的所述校正图案的位置基于所述对象物的所述折射率界面相对于与所述物镜的光轴垂直的平面的倾斜信息，以所述校正图案的中心相对于所述物镜的光轴与所述调制面相交的点，偏离基于所述倾斜信息决定的距离的方式设定。

2.一种像差校正方法，其特征在于，

包括：

将空间光调制器的调制面与对象物经由物镜光学耦合的耦合步骤；和

基于包含用于校正起因于所述对象物的折射率界面的像差的校正图案的调制图案，控制所述空间光调制器的控制步骤，

所述空间光调制器和所述物镜基于所述对象物的所述折射率界面相对于与所述物镜的光轴垂直的平面的倾斜信息，以所述调制面相对于所述物镜的光轴向与光轴交叉的方向相对地偏离基于所述倾斜信息决定的距离的方式配置。

3.如权利要求1或2所述的像差校正方法，其特征在于：

还包括测量所述对象物的所述折射率界面的倾斜角度的测量步骤，

所述倾斜信息基于由所述测量步骤测量的所述倾斜角度而决定。

4.如权利要求3所述的像差校正方法，其特征在于：

在所述测量步骤中，取得自所述对象物的所述折射率界面起的深度分别不同的所述对象物的多个图像，基于所述多个图像求取所述倾斜角度。

5.如权利要求1或2所述的像差校正方法，其特征在于：

所述倾斜信息基于与预先存储的所述对象物的所述折射率界面的倾斜角度相关的信息决定。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的像差校正方法，其特征在于：

所述调制面上的所述校正图案的区域的直径大于所述物镜的光瞳直径。

7.如权利要求3所述的像差校正方法，其特征在于：

在所述测量步骤中，将所述对象物的所述折射率界面分割成多个区域，测量各区域中的所述倾斜角度，

所述倾斜信息基于所述各区域中的所述倾斜角度决定。

8.一种光学装置，其特征在于，

包括：

具有调制面的空间光调制器；

配置在所述调制面与对象物之间的光路上的物镜；和

控制部，其基于包含用于校正起因于所述对象物的折射率界面的像差的校正图案的调制图案，控制所述空间光调制器，

所述调制图案中的所述校正图案的位置基于所述对象物的所述折射率界面相对于与所述物镜的光轴垂直的平面的倾斜信息，以所述校正图案的中心相对于所述物镜的光轴与所述调制面相交的点，偏离基于所述倾斜信息决定的距离的方式设定。

9.一种光学装置，其特征在于，

包括：

空间光调制器，其具有调制面，基于包含用于校正起因于对象物的折射率界面的像差的校正图案的调制图案而调制光；

物镜，其配置于所述调制面与所述对象物之间的光路上；

移动机构，其使所述物镜和所述空间光调制器的至少一者向与所述物镜的光轴交叉的方向移动；和

控制所述移动机构的控制部，

所述控制部基于所述对象物的所述折射率界面相对于与所述物镜的所述光轴垂直的平面的倾斜信息，以所述调制面相对于所述物镜的光轴向与光轴交叉的方向相对地偏离基于所述倾斜信息决定的距离的方式控制移动机构。

10.如权利要求8或9所述的光学装置，其特征在于：

还包括测量所述对象物的所述折射率界面的倾斜角度的测量部，

所述倾斜信息基于由所述测量部测量的所述倾斜角度而决定。