[发明专利]高压放电灯及其控制方法

说明书

高压放电灯(1)具备：发光管(10)；反射器(20)，该反射器具有环绕发光管(10)的长轴线形成的球面状或非球面状的反射面(22)以及能够供发光管(10)具有间隙(s)地插入的插入孔(23)；绝缘子(30)，该绝缘子将发光管(10)以及反射器(20)分别固定；以及多个电阻体(37、38)，多个该电阻体彼此并联连接，配置在绝缘子(30)的内部，并且具有彼此不同的电阻值。由此，能够以灯自身掌握灯的大致的使用时间。

技术领域

本发明涉及高压放电灯及其控制方法，更详细而言，涉及构成曝光装置的多灯的光源部的高压放电灯及其控制方法。

背景技术

近年来，作为在制造平板显示装置的滤色器、印刷电路板时使用的曝光装置，由于需求扩大曝光区域，所以也要求提高光源部的输出。因此，已知各种使用在制造成本等方面有利的技术，这些技术使用多个相对而言低光照强度的高压放电灯来构成光源部(例如参照专利文献1)。

如图7所示，作为现有的高压放电灯100，主要具备：发光管110，其放电并发光；反射器120，该反射器使从发光管110发出的光具有方向性并出射；绝缘子130，该绝缘子固定发光管110和反射器120；以及电线140，该电线与发光管110电连接。发光管110内设置有：发光部111，该发光部具有封入有卤素气体、汞、启动用氩气等的内部空间；一对密封部112、113，该一对密封部密封发光部111的内部空间；以及一对电极114、115，该一对电极在发光部111内彼此对置配置。

另外，在专利文献1所记载的光源装置中，为了能够高精度、短时间且低成本地检查放电灯100是否为正品，在绝缘子130的内部设置有白炽灯131。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5869713号公报

发明内容

发明欲解决的技术问题

然而，在高压放电灯中，为了输出相同光照强度，在使用初期放电的电力小，而随着使用时间变长，放电的电力变大。因此，为了使高压放电灯输出相同光照强度，需要随着使用时间变长而增大施加电力。因此，为了施加最适的电力，期望灯自身能够确认大致的使用时间。在专利文献1中，没有考虑到灯自身来掌握使用时间。

本发明鉴于上述问题而创造，其目的在于提供能够以灯自身来掌握灯的大致使用时间的高压放电灯及其控制方法。

用于解决问题的技术手段

本发明的上述目的通过下述结构而达成。

(1)一种高压放电灯，其特征在于，具备：

发光管；

反射器，所述反射器具有环绕所述发光管的长轴线形成的球面状或非球面状的反射面以及能够供所述发光管具有间隙地插入的插入孔；

绝缘子，所述绝缘子将所述发光管以及所述反射器分别固定；以及

多个电阻体，多个所述电阻体彼此并联连接，配置在所述绝缘子的内部，并且具有彼此不同的电阻值。

(2)根据(1)所述的高压放电灯，其特征在于，

所述绝缘子具有开放部，所述开放部使在所述发光管和所述反射器的插入孔之间形成的空间与外部连通，

配置有多个所述电阻体的容纳空间相对于所述开放部，在所述反射器的相反侧由所述绝缘子形成。

(3)一种对(1)或(2)所述的高压放电灯的控制方法，其特征在于，

控制对所述电阻体施加的电压，使得多个所述电阻体从所述电阻值低的所述电阻体起依次熔断。

(4)根据(3)所述的高压放电灯的控制方法，其特征在于，