[发明专利]加热管的气体泄漏检测装置以及加热管的气体泄漏检测方法

说明书

课题是提供能够可靠地检测来自形成有微细孔的加热管的气体泄漏的加热管的气体泄漏检测装置以及加热管的气体泄漏检测方法。作为解决手段，根据实施方式，具备收纳有加热体的内管(10a)和包围该内管而密闭的外管(10b)并利用压力调节机构(20)经由配管(30)将外管(10b)与内管(10a)之间的空间的气体压力调节为规定压力值的加热管(10)的气体泄漏检测装置具有：气体流动阻力部(21(213))，其设置于配管(30)，使气体局部性地难以流动；压力检测单元(23)，其在配管(30)中的气体流动阻力部(21)与加热管(10)之间检测外管(10b)与内管(10a)之间的空间的气体压力；以及泄漏判定单元(50)，其根据通过压力检测单元(23)得到的检测压力值来判定气体是否正在从加热管(10)泄漏。

技术领域

本发明涉及对来自内部的气体压力被调节为规定压力值的加热管的气体的泄漏进行检测的加热管的气体泄漏检测装置以及加热管的气体泄漏检测方法。

背景技术

例如，在专利文献1中公开了一种工业用加热器的破损监视方法。作为该破损监视的对象的工业用加热器中使用的加热管构成为石英制成的外管包围收纳加热器主体(加热线)的同样由石英制成的内管的外侧的双重结构。加热器主体经由从外部导入的电源线被供电而发热。外管在保持气密性的状态下包围内管，在内管与外管之间形成有密闭的空间。即，该加热管由内管以及外管构成为密闭容器。

从压缩机向这样结构的加热管(工业用加热器)的内管与外管之间的密闭空间供给压缩空气。并且，加热管在密闭空间的气体压力被调节为规定压力值的状态下沉入药液槽内的药液中而设置，对药液进行加热。在药液槽中，利用加热状态的药液例如对基板进行期望的处理(例如，蚀刻处理)。

在上述工业用加热器的破损监视方法中，在对加热管供给压缩空气的供给路径上设有压力传感器，该压力传感器的检测压力值被监视。例如，当浸在药液中的外管被腐蚀而有孔、或者外管由于外部的冲击等而破损时，空气从上述孔或破损部位泄漏，外管与内管之间的空间的气体压力降低，伴随于此，压力传感器的检测压力值降低。以该检测压力值的降低为契机，检测出所述加热管(工业用加热器)的异常。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平2-44681号公报

发明内容

发明要解决的课题

在上述现有的破损监视方法中，通过利用压缩机始终向密闭空间(密闭容器)供给压缩空气，将密闭空间的气体压力维持在规定压力值。另一方面，例如，在外管上开有微细的孔(针孔)的情况下，从密闭空间泄漏的空气的量较少。因此，即使从外管发生泄漏，也会被压缩机立即调节为规定的压力，存在压力传感器中的检测压力值不降低的情况。在这样的情况下，无法检测出来自加热管的外管的气体的泄漏、即外管的破损。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种加热管的气体泄漏检测装置，即使在由外管以及内管构成的加热管的外管形成有微细的孔的情况下，也能够可靠地检测来自该孔的气体的泄漏。

用于解决课题的手段

本发明的加热管的气体泄漏检测装置检测来自如下的加热管的气体泄漏，该加热管具备收纳有加热体的内管和包围该内管而密闭的外管，并且该加热管通过配管与压力调节机构结合，由所述压力调节机构将所述外管与所述内管之间的空间的气体压力调节为规定的压力值，其中，所述加热管的气体泄漏检测装置具有：气体流动阻力部，其设置于所述配管，在作为气体流路的所述配管中，使气体局部性地难以流动；压力检测单元，其在所述配管中的所述气体流动阻力部与所述加热管之间检测所述加热管的所述外管与所述内管之间的空间的气体压力；以及泄漏判定单元，其根据由所述压力检测单元得到的检测压力值，判定所述加热管是否正在泄漏。