[发明专利]包含具有光交联基的聚醚树脂的高低差基板被覆组合物有效
申请号: | 201880022769.X | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN110462520B | 公开(公告)日: | 2023-03-03 |
发明(设计)人: | 德永光;远藤贵文;桥本圭祐;坂本力丸 | 申请(专利权)人: | 日产化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;C08F290/14;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;孙丽梅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包含 有光 交联 树脂 高低 差基板 被覆 组合 | ||
1.一种光固化性高低差基板被覆组合物,其包含聚合物,所述聚合物包含式(1)所示的单元结构,
在式(1)中,A2和A3各自独立地表示可以包含杂原子的碳原子数6~100的芳香族环或表示含有可以包含杂原子的碳原子数6~100的芳香族环的烃基,B1、B2和B3各自独立地表示式(2),X表示羰基、磺酰基、-CR22-基、或-C(CF3)2-基,n1为1≤n1≤4的整数,n2为0≤n2≤4的整数,n3为0≤n3≤4的整数,n1+n2+n3=1~12的整数,
在式(2)中,R1表示碳原子数1~10的亚烷基、碳原子数1~10的亚烯基、碳原子数1~10的亚炔基、碳原子数6~40的亚芳基、氧原子、羰基、硫原子、-C(O)-O-、-C(O)-NRa-、-NRb-或由它们的组合构成的基团,该亚烷基、亚烯基、亚炔基和亚芳基可以被1个或2个以上氰基和/或1个或2个以上羟基任意取代,Ra表示氢原子或碳原子数1~10的烷基,Rb表示氢原子、碳原子数1~10的烷基或碳原子数2~10的烷基羰基,R2表示氢原子、或碳原子数1~10的烷基,虚线表示与A1、A2、或A3的结合,
关于A1,式(1-1)或式(1-2)所示的多核酚中的m×q个羟基之中的2个羟基形成A1的与2个O原子结合的结合键,该多核酚中的m×q个羟基之中的其余羟基和/或T2的氢原子形成A1的与B1的结合键,其中,与B1结合的结合键的数目的合计为n1,
其中,在式(1-1)、式(1-2)中,T1各自独立地为卤素基团、碳原子数1~10的烷基、碳原子数6~18的芳基、碳原子数7~28的芳基烷基、碳原子数2~10的烷基羰基、碳原子数2~10的烷基羰氧基、碳原子数2~10的烷基羰基氨基、碳原子数7~28的芳基氧基烷基、碳原子数1~6的烷氧基或由它们的组合构成的有机基,q表示2~6的整数,在q为2的情况下,T2表示单键、或可以具有羟基的2价的碳原子数1~10的烃基、或可以具有羟基的2价的碳原子数7~28的芳基烷基,在q为3~6的情况下,T2表示可以具有羟基的3~6价的碳原子数1~10的烃基、或可以具有羟基的3~6价的碳原子数7~28的芳基烷基,m为1~7的整数,n为0≤n≤7-m的整数,而且式(1-2)中的2个T2可以彼此形成环,p为0或1。
2.根据权利要求1所述的光固化性高低差基板被覆组合物,A1为由三(羟基苯基)甲烷衍生的基团、由四(羟基苯基)乙烷衍生的基团、或由四(羟基苯基)-对二甲苯衍生的基团,A2和A3为由苯环或萘环衍生的基团。
3.根据权利要求1或2所述的光固化性高低差基板被覆组合物,X为羰基。
4.根据权利要求1所述的光固化性高低差基板被覆组合物,其中,聚合物包含的式(1)所示的单元结构中的n1为1或2、n2和n3为0。
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