[发明专利]热屏蔽部件、单晶提拉装置及单晶硅锭的制造方法在审
| 申请号： | 201880022285.5 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN110573662A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 梶原薰;末若良太;仓垣俊二;田边一美 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张泽洲;谭祐祥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热屏蔽部件 单晶硅锭 单晶提拉装置 隔热材料 石英坩埚 隆起 提拉 筒部 纵壁 单晶硅 加热器 硅熔液 晶体的 圆筒状 底壁 上壁 外周 加热 贮存 包围 配置 制造 | ||
1.一种热屏蔽部件，其设置在从被配置于石英坩埚周围的加热器加热并贮存于所述石英坩埚的硅熔液提拉单晶硅锭的单晶提拉装置中，该热屏蔽部件具备包围所述单晶硅锭的外周面的圆筒状的筒部及在所述筒部的下部的环状的隆起部，该热屏蔽部件的特征在于，
所述隆起部具有上壁、底壁及2个纵壁，在被这些壁所围成的空间具有环状的隔热材料，
与所述单晶硅锭相邻的一侧的纵壁和所述隔热材料之间具有空隙。
2.一种热屏蔽部件，其设置在从被配置于石英坩埚周围的加热器加热并贮存于所述石英坩埚的硅熔液提拉单晶硅锭的单晶提拉装置中，该热屏蔽部件具备包围所述单晶硅锭的外周面的圆筒状的筒部及在所述筒部的下部的环状的隆起部，该热屏蔽部件的特征在于，
所述隆起部具有上壁、底壁及2个纵壁，在被这些壁所围成的空间具有环状的隔热材料，
与所述单晶硅锭相邻的一侧的纵壁的所述隔热材料侧的表面和所述隔热材料接触，
所述热屏蔽部件的开口直径和所述隔热材料的开口直径之差大于5mm。
3.根据权利要求1或2所述的热屏蔽部件，其中，
与所述单晶硅锭相邻的一侧的纵壁和所述底壁形成为一体。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的热屏蔽部件，其中，
与所述单晶硅锭相邻的一侧的纵壁具有碳材料。
5.一种单晶提拉装置，其具备权利要求1至4中任一项所述的热屏蔽部件。
6.一种单晶硅锭的制造方法，其特征在于，使用权利要求5所述的单晶提拉装置进行制造。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于胜高股份有限公司，未经胜高股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880022285.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
