[发明专利]氢检测用元件、氢检测用元件的制造方法以及氢检测装置

权利要求书

1.一种氢检测用元件，将储氢金属以规定的形状以及大小配置于基材，基于由入射的光而感应的表面等离子共振对氢进行检测，

所述储氢金属由以钯∶贵金属＝1∶2～1:1的含有比率包括钯与从金Au、银Ag、铂Pt构成的组中选择的至少1种贵金属的、加热成膜而得的膜体形成，

通过了储氢的所述储氢金属的所述光的光谱，在偏离于二氧化碳相对于所述光的吸收光谱以及水相对于所述光的吸收光谱的波长带宽具有峰。

2.如权利要求1所述的氢检测用元件，其特征在于，

所述储氢金属成膜为从所述基材的表面突出的圆柱状。

3.如权利要求2所述的氢检测用元件，其特征在于，

在等边三角形的顶点的位置配置有多个所述储氢金属。

4.如权利要求1所述的氢检测用元件，其特征在于，

所述储氢金属在所述基材的表面成膜为面状，具有以规定的直径以及间距排列的多个孔部。

5.如权利要求4所述的氢检测用元件，其特征在于，

所述多个孔部配置在等边三角形的顶点的位置。

6.一种氢检测装置，其特征在于，具备：

如权利要求1～5的任一项所述的氢检测用元件；

光源部，能够发射所述光；

受光部，对通过了所述氢检测用元件的所述光进行接收；

检测部，基于所述受光部的接收结果对氢进行检测。

7.一种氢检测用元件的制造方法，该氢检测用元件将储氢金属以规定的形状以及大小配置于基材，基于由入射的光而感应的表面等离子共振对氢进行检测，其特征在于，

由以钯∶贵金属＝1∶2～1:1的含有比率包括钯与从金Au、银Ag、铂Pt构成的组中选择的至少1种贵金属的、加热成膜而得的膜体形成所述储氢金属，

并且所述储氢金属形成为：通过了储氢的所述储氢金属的所述光的光谱的峰处于偏离于二氧化碳相对于所述光的吸收光谱以及水相对于所述光的吸收光谱的波长带宽。

8.如权利要求7所述的氢检测用元件的制造方法，其特征在于，

在将所述基材加热至规定温度的状态下，通过对所述钯以及所述贵金属进行溅射而使所述储氢金属成膜。

9.如权利要求8所述的氢检测用元件的制造方法，其特征在于，

将所述基材加热至250℃以上。

10.如权利要求7～9的任一项所述的氢检测用元件的制造方法，其特征在于，

使所述储氢金属成膜为从所述基材的表面突出的圆柱状。

11.如权利要求7～9的任一项所述的氢检测用元件的制造方法，其特征在于，

使所述储氢金属在所述基材的表面具有以规定的直径以及间距排列的多个孔部且以面状成膜。

12.如权利要求11所述的氢检测用元件的制造方法，其特征在于，

在等边三角形的顶点的位置配置所述多个孔部。