[发明专利]共聚焦扫描仪、显微镜系统以及共聚焦显微镜

权利要求书

1.一种共聚焦扫描仪，是安装在显微镜上的共聚焦扫描仪，其特征在于，包括：

线状光源，射出线状光；

线状检测器，具有将入射的光按照每行进行检测的线状的检测部；以及

移动机构，使所述线状光源与所述线状检测器在相对于所述线状光源的长边方向和所述线状检测器的长边方向垂直的方向上一体并进移动，

所述线状光源与所述线状检测器分别配置在相对于所述显微镜的焦平面位于共轭的位置的成像面内的相互对应的位置关系上。

2.根据权利要求1所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，所述线状光源与所述线状检测器被配置在所述显微镜具备的成像透镜与所述成像透镜的像面之间的分束光学系统分束，分别直接配置在所述成像透镜的成像面上。

3.根据权利要求2所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，所述移动机构使所述线状光源与所述线状检测器在维持相互对应的所述位置关系的状态下在所述显微镜的成像面上并进移动。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，

所述线状光源与所述线状检测器配置的位置关系为：使根据所述线状光源的长边方向与从所述线状光源射出的光的光轴方向确定的平面和根据所述线状检测器的长边方向与向所述线状检测器入射的光的光轴方向确定的平面成为同一平面或者相互平行的平面，

所述移动机构使所述线状光源以及所述线状检测器向相对于所述同一平面或者所述相互平行的平面垂直的方向并进移动。

5.根据权利要求4所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，所述线状光源与所述线状检测器配置的位置关系为：使根据所述线状光源的长边方向与从所述线状光源射出的光的光轴方向确定的平面和根据所述线状检测器的长边方向与向所述线状检测器入射的光的光轴方向确定的平面成为同一平面，并且所述线状光源的光轴与所述线状检测器的光轴通过分束光学系统相交。

6.根据权利要求1～3中任意一项所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，所述移动机构使所述线状光源与所述线状检测器一体并进移动。

7.根据权利要求1～3中任意一项所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，

包括多个数量分别相同的所述线状光源与所述线状检测器，

分别成对的所述线状光源与所述线状检测器配置在对应的位置关系上。

8.根据权利要求7所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，

所述成对的所述线状光源与所述线状检测器分别配置的位置关系为：使各自的根据所述线状光源的长边方向与从所述线状光源射出的光的光轴方向确定的平面和各自的根据所述线状检测器的长边方向与向所述线状检测器入射的光的光轴方向确定的平面成为同一平面或者相互平行的平面，

所述移动机构使所述成对的所述线状光源与所述线状检测器分别向相对于所述同一平面或者所述相互平行的平面垂直的方向并进移动。

9.根据权利要求1～3中任意一项所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，

所述线状光源与所述线状检测器中的任意一方具有多个，

所述线状光源与所述线状检测器配置成通过相对移动能够选择性地使所述线状光源与所述线状检测器对应。

10.根据权利要求9所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，

包括多个所述线状光源与1个所述线状检测器，

所述线状光源与所述线状检测器配置成通过相对移动能够选择性地使多个所述线状光源中的1个所述线状光源与1个所述线状检测器对应。

11.根据权利要求1～3中任意一项所述的共聚焦扫描仪，其特征在于，

所述线状光源包括多个光源与狭缝，

所述多个光源与所述狭缝配置成，通过使所述多个光源相对于所述狭缝相对移动，从所述多个光源中选择性地将1个光源的波长作为所述线状光源射出的光的波长。