[发明专利]在相反极性的硅区域上同时形成金属电极的方法在审
申请号: | 201880019931.2 | 申请日: | 2018-03-08 |
公开(公告)号: | CN110447109A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | R·拉赛尔 | 申请(专利权)人: | IMEC非营利协会 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 蔡文清;沙永生 |
地址: | 比利*** | 国省代码: | 比利时;BE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属电极 第一区 金属层 镀覆溶液 硅基材 浸镀 沉积 无电镀覆工艺 金属 相反极性 硅区域 暴露 硅光 制备 电池 | ||
1.一种用于同时在硅基材(10)的n型区域(11、51、511)上形成第一金属电极(31、58)并且在硅基材(10)的p型区域(12、52)上形成第二金属电极(32、59)的方法(100),其中,n型区域(11、51、511)暴露在第一区(1)并且p型区域(12、52)暴露在第二区(2),所述方法包括:
通过使用镀覆溶液的Ni浸镀工艺同时在第一区(1)和第二区(2)中沉积(101)含有Ni的初始金属层(33、53);以及
通过金属无电镀覆工艺或金属浸镀工艺在第一区(1)和第二区(2)中将另一金属层(34、54)沉积(102)在含有Ni的初始金属层(33、53)上,
其中,镀覆溶液含有Ni和预定量的不同于Ni的另一金属。
2.如权利要求1所述的方法(100),其中,不同于Ni的另一金属的氧化还原电势高于Ni的氧化还原电势。
3.如前述权利要求中任一项所述的方法(100),其中,不同于Ni的另一金属是Cu。
4.如前述权利要求中任一项所述的方法(100),其中,镀覆溶液包含250ppm至350ppm的Ni,并且不同于Ni的另一金属的预定量为5ppm至250ppm,优选20ppm至50ppm。
5.如前述权利要求中任一项所述的方法(100),其中,沉积(102)另一金属层(35、54)包括:同时在第一区(1)和第二区(2)中使另一金属层(34、54)沉积在含有Ni的初始金属层(33、53)上。
6.如前述权利要求中任一项所述的方法(100),其中,沉积(102)另一金属层(35、54)包括:通过Ni无电镀覆工艺沉积另一Ni层。
7.如权利要求6所述的方法(100),该方法还包括在另一Ni层(34、51)上形成可焊接封盖层。
8.如权利要求7所述的方法(100),其中,形成可焊接封盖层包括通过Ag镀覆工艺形成Ag层。
9.如权利要求7所述的方法(100),其中,形成可焊接封盖层包括通过Ag浸镀工艺形成Ag层,并且Ag层的厚度为150nm至600nm。
10.如前述权利要求1-4中任一项所述的方法(100),其中,沉积(102)另一金属层(35、54)包括:通过Ag无电镀覆工艺或Ag浸镀工艺沉积Ag层。
11.如前述权利要求中任一项所述的方法(100),该方法还包括:在250℃至450℃的温度下实施烧结步骤。
12.如前述权利要求中任一项所述的方法(100),其中,第一区(1)和第二区(2)在硅基材(10)的相同侧。
13.如权利要求1-11中任一项所述的方法(100),其中,第一区(1)和第二区(2)在硅基材(10)的相反侧。
14.如权利要求1至11或13中任一项所述方法用于制造双面光伏电池(50)的用途,所述方法包括:同时在硅基材(10)的n型区域(11、51、511)上形成第一金属电极(31、58)并且在硅基材(10)的p型区域(12、52)上形成第二金属电极(32、59)。
15.如权利要求1至12中任一项所述方法用于制造背接触式光伏电池的用途,所述方法包括:同时在硅基材(10)的n型区域(11)上形成第一金属电极(31)并且在硅基材(10)的p型区域(12)上形成第二金属电极(32)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的