[发明专利]用于校准电容传感器接口的装置和方法

权利要求书

1.一种用于校准电容传感器接口的装置，所述装置包括：

电容传感器(10)，其具有电容(cmem、cmemsp、cmemsm)，

电荷储存电路(20)，其具有可变电容(cdum、cdump、cdumm)，

测试电路(30)，其用于将测试信号(vtst)施加到所述电容传感器(10)和所述电荷储存电路(20)，

放大器电路(40)，其具有耦合到所述电容传感器(10)的第一输入连接端(E40a)和耦合到所述电荷储存电路(20)的第二输入连接端(E40b)以及输出连接端(A40)，其中，所述放大器电路(40)被配置为根据施加到所述第一输入连接端(E40a)的第一输入信号(ΔVerr1)和施加到所述第二输入连接端(E40b)的第二输入信号(ΔVerr2)在所述放大器电路(40)的所述输出连接端(A40)处提供输出信号(Vout)，

检测电路(50)，其用于检测所述输出信号(Vout)的电平，

控制电路(60)，其用于接收检测到的输出信号(Vout)的电平并调整所述电荷储存电路(20)的电容(cdum、cdump、cdumm)，使得所述输出信号(Vout)的电平趋于零电平，以及

偏置电压源(90)，其用于偏置所述电容传感器(10)，其中，所述偏置电压源(90)耦合到所述电容传感器(10)和所述电荷储存电路(20)。

2.如权利要求1所述的装置，

其中，所述测试电路(30)包括测试信号生成器(31)以生成测试信号(vtst)。

3.如权利要求2所述的装置，

其中，所述测试信号生成器(31)被配置为生成作为脉冲序列的测试信号(vtst)。

4.如权利要求2所述的装置，

其中，所述测试电路(30)包括电容器(32)，所述电容器(32)具有连接到所述测试电路(30)的测试信号生成器(31)的第一极板(33)和耦合到所述电容传感器(10)和所述电荷储存电路(20)的第二极板(34)。

5.如权利要求4所述的装置，

其中，所述电容传感器(10)被配置为MEMS麦克风，

其中，所述电荷储存电路(20)包括至少一个可变电容器(21)。

6.如权利要求2所述的装置，

其中，所述电容传感器(10)被配置为包括第一电容器(11)和第二电容器(12)的差分MEMS麦克风，

其中，所述电荷储存电路(20)被配置为包括第一可变电容器(21)和第二可变电容器(22)的另一MEMS麦克风。

7.如权利要求6所述的装置，

其中，所述放大器电路(40)的所述第一输入连接端(E40a)连接到所述电容传感器接口(1)的在所述电容传感器(10)的所述第一电容器(11)与所述第二电容器(12)之间的第一节点(IN1)，

其中，所述放大器电路(40)的所述第二输入连接端(E40b)连接到所述电容传感器接口(1)的在所述电荷储存电路(20)的所述第一可变电容器(21)与所述第二可变电容器(22)之间的第二节点(IN2)。

8.如权利要求6或7所述的装置，所述装置包括：

第一偏置电压源(91)，其耦合到所述电容传感器(10)的所述第一电容器(11)和所述电荷储存电路(20)的所述第一可变电容器(21)，

第二偏置电压源(92)，其耦合到所述电容传感器(10)的所述第二电容器(12)和所述电荷储存电路(20)的所述第二可变电容器(22)。

9.如权利要求4至7中任一项所述的装置，

其中，所述测试信号生成器(31)被配置为生成与由MEMS麦克风(10)接收到的音频信号正交的所述测试信号(vtst)。