[发明专利]化学机械式研磨后清洗用组合物有效
| 申请号： | 201880018338.6 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110418834B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李昇勋;李昇炫;金胜焕 | 申请（专利权）人： | 荣昌化学制品株式会社 |
| 主分类号： | C11D11/00 | 分类号： | C11D11/00;C11D7/32;C11D7/26;C11D7/50 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械式 研磨 清洗 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械式研磨后清洗用组合物，所述组合物包含氢氧化胆碱、四丁基氢氧化铵、1,2,4-三唑、2-羟基吡啶、聚氧乙烯壬基苯基醚、山梨糖醇基聚醚多元醇，其中，
所述组合物由氢氧化胆碱5至20重量％、四丁基氢氧化铵1至10重量％、1,2,4-三唑1至4重量％、2-羟基吡啶2至4重量％、聚氧乙烯壬基苯基醚0.01至5重量％、山梨糖醇基聚醚多元醇0.01至5重量％及使得整个组合物成为100重量％的余量的超纯水构成。
2.根据权利要求1所述的化学机械式研磨后清洗用组合物，其中，
所述组合物包含氢氧化胆碱10至15重量％、四丁基氢氧化铵1至5重量％。
3.根据权利要求2所述的化学机械式研磨后清洗用组合物，其中，
所述组合物的pH为9至13。
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