[发明专利]用于使两个光学子系统对准的方法和装置

权利要求书

1.一种用于使光学系统（11、11'、11）的两个对置地、尤其是相叠地布置的光学子系统（12u、12u'、12u、12o、12o'、12o）对准的方法，所述方法具有如下步骤：

- 将对准标记（9l、9r、9l'、9r'）投影到第一、尤其是下方的光学子系统（12u、12u'、12u）的投影面（5u）中，

- 将所述对准标记（9l、9r、9l'、9r'）从第一投影面（5u）投影到第二、尤其是上方的光学子系统（12o、12o'、12o）的敏感表面（14so）上，

- 使所述光学子系统（12u、12u'、12u、12o、12o'、12o）相对于彼此对准，使得所述对准标记（9l、9r、9l'、9r'）的投影（9pl、9pr）在所述敏感表面（14so）的景深范围内成像于理想的位置（9il、9ir）。

2.根据权利要求1所述的方法，其中用于对所述对准标记（9l、9r）进行照明的光（7）经由至少一个光源（10）、尤其是灯、优选地卤素灯和至少一个镜（3）被耦合输入到第一和/或第二光学子系统（12u、12u'、12u、12o、12o'、12o）中。

3.根据上述权利要求之一所述的方法，其中用于对所述对准标记（9l、9r）进行照明的周围环境光（7'）在所述光学子系统（12u、12u'、12u、12o、12o'、12o）的至少一个位置上、尤其是在第一相机（1u）上和/或在镜（3、3u、3o）上被耦合输入，其中优选地未安装对所述光学子系统（12u、12u'、12u、12o、12o'、12o）的屏蔽。

4.根据上述权利要求之一所述的方法，其中所述对准标记（9l'、9r'）由对准标记投影系统（21）投影到第一相机（1u）的第一相机芯片（2u）的第一敏感表面（14su）上，其中所述对准标记（9l'、9r'）尤其包括LED场和/或构造为掩模。

5.根据上述权利要求之一所述的方法，其中所述光学子系统（12u、12u'、12u、12o、12o'、12o）包括两个对置地布置的透镜（6o、6u），所述透镜的投影面（5o、5u）和/或光轴（13o、13u）相对于彼此对准。

6.根据权利要求5所述的方法，其中至少所述透镜（6o、6u）是用于使衬底、尤其是晶圆对准的设备的部分。

7.根据权利要求5或6所述的方法，所述方法具有如下流程：

- 将对准标记（9l、9r）布置在第一相机（1u）的第一相机芯片（2u）的第一敏感表面（14su）附近和/或布置在第一相机（1u）的第一相机芯片（2u）的第一敏感表面（14su）上，和/或将对准标记（9l'、9r'）投影到第一相机（1u）的第一相机芯片（2u）的第一敏感表面（14su）上，

- 经由第一光学子系统（12u、12u'、12u）将所述对准标记（9l、9r、9l'、9r'）从所述第一相机芯片（2u）投影到所述第一投影面（5u）中，其中所述第一光学子系统（12u、12u'、12u）具有第一透镜（6u），其中所述第一投影面（5u）布置在所述透镜（6o、6u）之间，

- 经由第二光学子系统（12o、12o'、12o）将所述对准标记（9l、9r、9l'、9r'）从所述第一投影面（5u）投影到第二相机（1o）的第二相机芯片（2o）的第二敏感表面（14so）上，其中所述第二光学子系统（12o、12o'、12o）具有第二透镜（6o）。

8.根据权利要求5、6或7所述的方法，其中所述透镜（6o、6u）为了对准而相对于彼此平移地和/或旋转地移动。

9.根据权利要求5、6、7或8所述的方法，其中所述透镜（6o、6u）为了对准而靠近，使得第一透镜（6u）的第一投影面（5u）位于第二透镜（6o）的第二对象平面（5o）的景深范围内。

10.根据上述权利要求之一所述的方法，其中所述对准标记（9l、9r）直接涂覆在第一相机（1u）的第一相机芯片（2u）的第一敏感表面（14su）上。