[发明专利]183NM CW激光器及检验系统

权利要求书

1.一种用于产生具有在约181nm到约185nm的范围中的波长的连续波CW激光器输出光的激光器组合件，所述激光器组合件包括：

第一基频CW激光器，其经配置以产生具有拥有介于约1μm与1.1μm之间的对应第一基频波长的第一基频频率的第一基频CW光；

四次谐波产生模块，其经耦合以接收所述第一基频CW光的第一部分且经配置以产生具有等于所述第一基频频率的四倍的四次谐波频率的四次谐波光；

五次谐波产生模块，其经耦合以接收所述第一基频CW光的第二部分且从所述四次谐波产生模块接收所述四次谐波光，其中所述第一基频CW光的所述第二部分与所述四次谐波光之间具有偏离角，所述五次谐波产生模块经配置以通过混合所述四次谐波光与所述第一基频CW光的所述第二部分而产生具有等于所述第一基频频率的五倍的五次谐波频率的五次谐波光；

混频模块，其经配置以通过混合所述五次谐波光与具有拥有介于1.26μm与1.82μm之间的对应第二波长的第二频率的第二CW光而产生所述激光器输出光，

其中所述五次谐波产生模块包括第一腔及第一非线性晶体，所述第一腔是由多个第一镜形成，所述多个第一镜经配置以循环所述第一基频CW光的所述第二部分使得所述经循环第一基频光通过所述第一非线性晶体，所述第一非线性晶体经配置以混合所述经循环第一基频光与从所述四次谐波产生器直接接收的所述四次谐波光以产生所述五次谐波光，

其中所述混频模块包括第二腔及第二非线性晶体，所述第二腔是由多个第二镜形成，所述多个第二镜经配置以循环所述第二CW光使得所述经循环第二CW光通过所述第二非线性晶体，且所述第二非线性晶体经配置以从所述五次谐波产生器直接接收所述五次谐波光，使得所述五次谐波光与所述经循环第二CW光混合以产生所述激光器输出光，且

其中所述第一非线性晶体及所述第二非线性晶体中的至少一者包括经退火硼酸铯锂CLBO晶体、经氢处理的CLBO晶体及经氘处理的CLBO晶体中的一者。

2.根据权利要求1所述的激光器组合件，其进一步包括经配置以产生处于第一功率电平的所述第二CW光的第二基频激光器，

其中所述混频模块经配置以从所述第二基频激光器接收所述第二CW光，使得所述第二CW光在所述第二腔中循环，且所述第二腔经配置以按所述第二CW光的第二基频频率谐振，使得所述经循环第二CW光的第二功率电平大于所述第一功率电平。

3.根据权利要求2所述的激光器组合件，其中所述第二基频激光器包括掺Yb光纤激光器，掺Nd固态激光器、光纤激光器或光纤放大器，及掺铒Er固态激光器、光纤激光器或光纤放大器中的一者。

4.根据权利要求1所述的激光器组合件，其进一步包括经配置以产生处于第一频率的第二激光的泵浦激光器，

其中所述第二腔包括固态激光器腔及光学参数振荡器腔中的一者，所述第二腔经配置以使用从所述泵浦激光器接收的所述第二激光产生所述经循环第二CW光，使得所述经循环第二CW光具有低于所述第一频率的第二频率。

5.根据权利要求4所述的激光器组合件，其中所述混频模块进一步包括掺Nd增益介质及掺铒Er增益介质中的一者。

6.根据权利要求4所述的激光器组合件，其中所述第二腔进一步包括光学二极管及标准具。

7.根据权利要求4所述的激光器组合件，其中所述混频模块进一步包括周期性极化掺氧化镁的化学计量钽酸锂及周期性极化掺氧化镁的铌酸锂中的一者。

8.根据权利要求1所述的激光器组合件，其中所述第一基频激光器经配置使得所述第一基频频率具有等于约1070nm、约1064nm、约1053nm、约1047nm及约1030nm中的一者的对应波长。

9.根据权利要求1所述的激光器组合件，其中所述第一基频激光器包括掺镱Yb光纤激光器或光纤放大器、掺钕Nd固态激光器，及掺Nd光纤激光器或光纤放大器中的一者。