[发明专利]光波导芯形成用感光性环氧树脂组合物、感光性薄膜、光电混载基板、光波导及其制造方法

说明书

光波导芯形成用感光性环氧树脂组合物包含树脂成分和阳离子聚合光引发剂，树脂成分包含：具有3个以上的环氧基的甲酚酚醛清漆型环氧树脂，具有2个环氧基的固体的双酚型环氧树脂，具有2个环氧基的液态的双酚型环氧树脂，以及，固体的含芴环的环氧化合物。

技术领域

本发明涉及光波导芯形成用感光性环氧树脂组合物、光波导芯形成用感光性薄膜、光波导、光电混载基板以及光波导的制造方法。

背景技术

迄今为止，已知有传递光信号的光波导。光波导具备光信号通过的芯层和覆盖芯层的包层。

为了确保光波导的性能，要求芯层平衡性良好地具备各种特性。例如，芯层要求用于抑制光损耗的低吸收损耗(线性损耗)和高折射率、用于确保光波导的柔软性的优异的柔软性、用于通过光刻而形成的优异的图案化性等。

作为该芯层的材料，提出了含有环氧树脂和阳离子聚合光引发剂、环氧树脂仅由固体环氧树脂成分构成的光波导形成用感光性环氧树脂组合物(例如，参见专利文献1。)。

而且，光波导形成用感光性环氧树脂组合物通过湿法工艺形成芯层。具体而言，将光波导形成用感光性环氧树脂组合物溶解于有机溶剂而制造感光性清漆，将感光性清漆涂覆在下包层上并干燥后，对干燥后的干膜进行曝光和显影，从而形成芯层。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/203999号

发明内容

发明要解决的问题

然而，如图6的A所示，当通过湿法工艺形成芯层时，由于会将感光性清漆涂覆在下包层31上，涂覆表面33A变得均匀。因此，如果在制造工序中于下包层31产生凹部32，则对应于下包层31的凹部32的部分的涂膜33的厚度T1 会变得大于没有凹部32的部分的厚度T2(对应于下包层31的平坦面的部分的涂膜33的厚度)。

于是，无法使对感光性清漆的涂膜33进行干燥而形成的干膜34的厚度在整体上保持恒定，进而，存在使干膜34曝光和显影而形成的芯层的尺寸精度下降的问题。

因此，另行研究了如下的干法工艺：将感光性清漆涂覆在载体薄膜上使其干燥而制作厚度恒定的干膜，将该干膜贴附于下包层。

如图6的B所示，在该干法工艺中，即使在下包层31具有凹部32的情况下，也会由于干膜34追随地贴附于下包层31的凹部32而能够使干膜34的厚度整体恒定，能够实现芯层的尺寸精度的提高。

另一方面，在干法工艺中，在干膜34贴附于下包层31后，载体薄膜35会从干膜34剥离，因此，对于干膜34，要求兼顾用于密合于下包层31的粘性和载体薄膜35的剥离性。

然而，专利文献1中记载的由光波导形成用感光性环氧树脂组合物制作干膜不能确保干法工艺所要求的粘性，不能稳定地密合于下包层。

因此，本发明提供能够平衡性良好地确保光波导所要求的各种的特性、并且能够适宜地适用于通过干法工艺形成芯层的光波导芯形成用感光性环氧树脂组合物、光波导芯形成用感光性薄膜、光波导、光电混载基板以及光波导的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明[1]包括一种光波导芯形成用感光性环氧树脂组合物，其含有树脂成分和阳离子聚合光引发剂，上述树脂成分包含：具有3个以上的环氧基的甲酚酚醛清漆型环氧树脂、具有2个环氧基的固体的双酚型环氧树脂、具有2 个环氧基的液态的双酚型环氧树脂和固体的含芴环的环氧化合物。