[发明专利]用于调谐以减小多个状态下的反射功率的系统和方法

权利要求书

1.一种用于调谐以减小多个状态中的反射功率的方法，其包括：

通过射频发生器经由阻抗匹配电路向等离子体室供应在数字脉冲信号的第一状态期间的功率；

通过所述射频发生器经由所述阻抗匹配电路向所述等离子体室供应在所述数字脉冲信号的第二状态期间的功率；

测量在所述第一和第二状态期间在所述射频发生器的输出处反射的功率量；以及

控制所述阻抗匹配电路的参数以将在所述第一和第二状态期间测量的所述功率量减小到第一最小功率量，其中所述第一最小功率量大于在所述第一状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射的第二最小功率量。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一和第二状态期间测量的所述第一最小功率量小于在所述第二状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射的第三最小功率量，其中，当所述参数具有第一值时，实现在所述第二状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射所述第三最小功率量，其中，当所述参数具有第二值时，在所述第一和第二状态期间测量所述第一最小功率量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，当所述参数具有第一值时，实现在所述第一状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射的所述第二最小功率量，其中，当所述参数具有第二值时，在所述第一和第二状态期间测量所述第一最小功率量。

4.根据权利要求1所述的方法，其中控制所述参数包括控制所述阻抗匹配电路的电容器或电感器，其中在所述第一和第二状态期间测量的所述第一最小功率量对应于所述第一状态和所述第二状态的所述参数的恒定值。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述参数是所述阻抗匹配电路的串联电路的参数或所述阻抗匹配电路的分流电路的参数，其中所述控制通过应用机器学习过程来执行。

6.一种用于调谐以减小多个状态中的反射功率的系统，其包括：

射频发生器，其被配置为在数字脉冲信号的第一状态期间供应功率；

阻抗匹配电路，其经由射频电缆耦合到所述射频发生器；

等离子体室，其经由射频传输线耦合到所述阻抗匹配电路；

传感器，其耦合到所述射频发生器的输出处，

其中，所述射频发生器被配置为在所述数字脉冲信号的第二状态期间经由所述阻抗匹配电路向所述等离子体室供应功率，

其中，所述传感器被配置为测量在所述第一和第二状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射的功率量；和

处理器，其耦合到所述阻抗匹配电路以控制所述阻抗匹配电路的参数，其中控制所述参数以将在所述第一和第二状态期间测量的所述功率量减小到第一最小功率量，其中所述第一最小功率量大于在所述第一状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射的第二最小功率量。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，在所述第一和第二状态期间测量的所述第一最小功率量小于在所述第二状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射的第三最小功率量，其中，当所述参数具有第一值时，实现在所述第二状态期间所述射频发生器的所述输出处反射的所述第三最小功率量，其中，当所述参数具有第二值时，在所述第一和第二状态期间测量所述第一最小功率量。

8.根据权利要求6所述的系统，其中，当所述参数具有第一值时，实现在所述第一状态期间在所述射频发生器的所述输出处反射的所述第二最小功率量，其中，当所述参数具有第二值时，在所述第一和第二状态期间测量所述第一最小功率量。

9.根据权利要求6所述的系统，其中所述参数是所述阻抗匹配电路的电容器或电感器的参数。

10.根据权利要求6所述的系统，其中所述参数是所述阻抗匹配电路的串联电路的参数或所述阻抗匹配电路的分流电路的参数。