[发明专利]储料器以及作业用脚手架的形成方法

说明书

能够容易地进行作业用脚手架的形成，减轻作业者的负担。储料器(S)具备：在储料器内的行进空间(SP)行进并输送物品的输送装置(1)；隔着行进空间(SP)而在水平方向平行地延伸的一对轨道(4)；能够沿着一对轨道(4)移动的多个脚手架部件(5)；以及相对于划分储料器内和储料器外的门(3)设置在储料器外侧，收容多个脚手架部件的收容部(6)，一对轨道(4)从储料器内通过设置在门(3)的正下的开口部(26)延伸配置至收容部(6)，在多个脚手架部件(5)中的至少一个立起设置有上端比开口部(26)的上端高的栅栏部(28)，具备栅栏部(28)的脚手架部件(5)经由开口部(26)而跨越储料器内和储料器外配置，且栅栏部(28)配置在储料器内侧。

技术领域

本发明涉及储料器以及作业用脚手架的形成方法。

背景技术

在半导体制造车间等中，为了保管收容半导体晶片或者中间掩模等的FOUP、中间掩模盒等容器(物品)，设置有储料器。该储料器具备：在内部载置物品的搁架部；以及在储料器内部行进而进行物品的移载的输送装置。搁架部沿着输送装置的行进空间在上下方向配置有多层。在这样的储料器中，公知有如下的技术：为了使得在物品收纳时的故障或者维护时作业者能够访问上方的搁架部，在输送装置的行进空间配置多个脚手架部件而形成作业用脚手架(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－019031号公报

发明内容

发明所要解决的课题

关于专利文献1的储料器，从设置在划分储料器内外的门的外侧的收容部沿着隔着行进空间在水平方向平行延伸的一对轨道使多个脚手架部件依次充填，由此来形成作业用脚手架。关于该作业用脚手架的形成，通过作业者从收容部使脚手架部件充填到轨道来进行，但使最前头的脚手架部件充填到轨道的作业麻烦，并且是高处的作业，因此存在作业者的负担大的课题。并且，当在未形成有作业用脚手架的状态下作业者将划分储料器内外的门打开时，朝储料器内的进入未被限制，因此需要注意门的开闭，会对作业者造成负担。

本发明就是鉴于以上的情形而完成的，其目的在于，提供一种能够容易地进行作业用脚手架的形成、能够减轻作业者的负担的储料器以及作业用脚手架的形成方法。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的储料器具备：输送装置，在储料器内的行进空间行进，并输送物品；一对轨道，隔着行进空间而在水平方向平行地延伸；多个脚手架部件，能够沿着一对轨道移动；以及收容部，相对于划分储料器内和储料器外的门设置在储料器外侧，收容多个脚手架部件，一对轨道从储料器内通过设置在门的正下的开口部延伸配置至收容部，在多个脚手架部件的至少一个立起设置有上端比开口部的上端高的栅栏部，具备栅栏部的脚手架部件经由开口部而跨越储料器内和储料器外配置，且栅栏部配置在储料器内侧。

并且，也可以形成为，栅栏部设置于在最前头充填到一对轨道的脚手架部件。并且，也可以形成为，栅栏部具备：多个支柱，从脚手架部件朝上方延伸；以及多个水平部，配置在多个支柱间，最上部的水平部设定成比站在脚手架部件上的作业者的腰的位置高。并且，也可以形成为，多个脚手架部件中的具备栅栏部的脚手架部件以外的脚手架部件在输送装置行进时以层叠的状态收容在收容部。

并且，也可以形成为，输送装置具备：行进部，在行进空间行进；立柱，从行进部沿上下方向设置，且俯视观察时外周的一部分呈弧状；以及移载部，沿着立柱升降。并且，也可以形成为，多个脚手架部件中的接近立柱的脚手架部件设置有供立柱的一部分进入的切缺部。