[发明专利]扫描型探针显微镜

权利要求书

1.一种扫描型探针显微镜，使用具有挠性且两端为基端和可动端的悬臂来通过设置于该可动端的探针对试样表面进行扫描，该扫描型探针显微镜的特征在于，具备：

a)测定光照射部，其向设置于所述可动端的反射面照射光；

b)光检测部，其通过比从所述反射面反射的反射光的入射区域大且被分割成多个区域的受光面来检测该反射光；

c)挠曲量计算部，其在对作用于所述探针和所述试样之间的短距离力进行准确测定的期间，基于向所述多个区域入射的光量的比例来求出所述悬臂的挠曲量；

d)判定部，其判定所述悬臂的挠曲的针对所述悬臂的基端与所述试样之间的距离的变化量是否为预先决定的阈值以上；以及

e)入射位置移动部，其在所述变化量比所述阈值小的情况下，使所述反射光的向所述受光面入射的入射位置移动使得抵消该变化量。

2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述入射位置移动部通过使所述受光面移动来抵消所述变化量。

3.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述挠曲量计算部按第一周期求出所述悬臂的挠曲量，

所述判定部按第二周期判定所述悬臂的挠曲的针对所述悬臂与所述试样之间的距离的变化量是否为预先决定的阈值以上，其中，所述第二周期比所述第一周期长。