[发明专利]荧光X射线分析方法以及荧光X射线分析装置

说明书

在基于FP法的荧光X射线分析方法中，在用于求出灵敏度常数的标准试样理论强度计算步骤以及反复计算之中的未知试样理论强度计算步骤中使用的预定的理论强度式方面，仅仅对于与X射线的吸收相关的吸收项，按照使得全部成分的浓度比的合计成为1的方式将各成分的浓度比进行标准化。

关联申请

本申请要求在2017年3月15日申请的日本特愿2017-049447 的优先权，通过参照其整体，将其作为构成本申请的一部分的内容而进行引用。

技术领域

本发明涉及基于基本参数法(fundamental parameter method)的荧光X射线分析方法、荧光X射线分析程序以及荧光X射线分析装置。

背景技术

以往，在对试样照射一次X射线，测定由试样产生的荧光X 射线等二次X射线的强度，基于该测定强度而对例如试样中的成分(元素或者化合物)的浓度比(也存在由含有率表示的情况)进行定量分析的荧光X射线分析方法中，存在有基本参数法(FP法)(参照非专利文献1)。在FP法中，如图4的流程图所示，事先基于标准试样的测定强度与理论强度而求出将装置灵敏度进行修正的灵敏度常数(步骤S1～S3)，对于未知试样，根据基于测定强度与灵敏度常数而适宜推定出的浓度比的初始值(步骤S4～S6)，利用使用了理论强度的反复计算(步骤S7C～S9)，求出成分的浓度比(步骤S10)。

在这样的以往的FP法方面，使用全部成分的浓度比的合计为 1的标准试样成为前提，在反复计算之中，在标准化步骤S8.1中，对于由更新步骤S8更新了的各成分的推定浓度比，通过除以全部成分的推定浓度比的合计，从而按照全部成分的推定浓度比的合计成为1的方式进行了标准化。另外，根据该前提，在标准试样理论强度计算步骤S2C以及未知试样理论强度计算步骤S7C中，简单地使用如下式(1)那样表示的理论强度式。

I_i^T＝K_iW_i/Σμ_jW_j (1)

此处，I_i^T是测定成分i的荧光X射线的理论强度，K_i是测定成分i的荧光X射线的常数，W_i是测定成分i的浓度比，μ_j是试样内成分j(包含测定成分i)的综合吸收系数，W_j是试样内成分j 的浓度比。假如，在式(1)中全部成分的浓度比的合计ΣW_j不是1，尝试分别将右边的分子、分母除以ΣW_j并且按照全部成分的浓度比的合计成为1的方式进行标准化时，则如下式(2)那样表示。

I_i^T＝K_iW_i^N/Σμ_jW_j^N (2)