[发明专利]探针和电连接装置

说明书

一种探针(20)，其使第1接触对象和第2接触对象电连接，其中，该探针(20)具备：筒状的机筒部(50)，其沿上下方向(Z)延伸；第1柱塞部(60)，其一部分自机筒部(50)的一端插入且与第1接触对象电接触；以及第2柱塞部(70)，其一部分自机筒部(50)的另一端插入且与第2接触对象电接触，机筒部(50)具备：第1机筒部(51)，其具有内径以及第2机筒部(52)，其配置于第1机筒部(51)的内侧，具有比内径小的外径第1机筒部(51)具备第1弹簧部(151)，第2机筒部(52)具备第2弹簧部(152)，第1柱塞部(60)具有比第1机筒部(51)的内径大的尺寸的主体部分(61)。

技术领域

本发明涉及在被检查体的电气检查等中使用的探针和电连接装置。

背景技术

制作于半导体晶圆中的许多集成电路通常在从该晶圆切断、分离之前接受电气检查，检查其是否具有规格书所述的性能。作为在这样的电气检查中使用的装置，存在一种具备多个探针的电连接装置。

在使用这种电连接装置来实施电气检查时，使多个探针的基端部(上端部)接触于与试验机等装置相连接的探针基板的电极，使探针的顶端部(下端部)接触于集成电路等被检查体的电极。

此时，通过使自电连接装置向上方延伸出的探针的基端部(上端部)保持以预定载荷压接于探针基板的压接状态(所谓的预负荷状态)，从而维持探针与探针基板之间的电气连接。

另外，通过使自电连接装置向下方延伸出的探针的顶端部为以预定载荷压接于被检查体的压接状态(所谓的过驱动状态)，从而维持探针与被检查体之间的电气连接。通过如此设置，借助探针，被检查体和探针基板被电连接，从而实施电气检查。

另外，作为安装于电连接装置的探针，提出一种在上下方向上的一部分的区间中具备发挥弹簧功能(弹性力)的弹簧部的探针(例如参照专利文献1)。

该探针具备与被检查体相接触的柱塞和具有圆筒形状的机筒，机筒在上下方向(长度方向)上具备弹簧部。

由于探针如此具有弹簧部，因此，在成为预负荷状态、过驱动状态的情况下，探针能够在上下方向上压缩且对探针基板、被检查体赋予适度的按压力。并且，与制造误差相伴随的探针长度的偏差也能够通过弹簧部的压缩来吸收。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016－99337号公报

发明内容

发明要解决的问题

另外，在以往技术的探针中，对于弹簧部，需要设定在预负荷状态和过驱动状态下与压缩相对应的压缩长度和与吸收伴随制造误差的探针长度的偏差相对应的压缩长度。因此，在以往技术的探针中，将多个弹簧部在上下方向上串联地配置等使弹簧部在上下方向上形成于较长的区间中。

然而，当使弹簧部在上下方向上形成于较长的区间中时，探针的上下方向上的长度也变长，因此探针容易挠曲。另外，若各探针变得容易挠曲，则在实施电气检查时，存在与相邻的探针接触而发生短路(short)的可能性。

本发明是鉴于这样的情况而做出的，其目的在于，提供能够防止探针的挠曲引起的探针之间的接触的探针和电连接装置。

用于解决问题的方案