[发明专利]成膜装置以及成膜物的制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于包括：

腔室；

工件旋转装置，被收容在所述腔室的内部，具有至少一个保持部，所述保持部保持具有被进行成膜的外周面的至少一个工件并使该工件以指定的自转轴为中心自转；

蒸发源，被安装于所述腔室的内部，且具有出射面，从所述出射面飞出用于对所述工件的外周面进行成膜的材料的粒子；

电源，将用于所述粒子从所述蒸发源飞出的电运行输出供应给该蒸发源；以及

控制部，以在所述工件旋转装置使所述工件自转的期间，且在所述工件的外周面中与其他部分相比应较厚地形成皮膜的特定部分朝向所述蒸发源的所述出射面的期间的至少一部分即特定期间，使所述电源供应给所述蒸发源的所述运行输出成为比基准输出高且比所述特定期间以外的期间的输出高的输出的方式控制该电源，其中，

所述控制部以使所述运行输出配合所述工件的所述自转周期而周期性地改变的方式控制所述电源。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于还包括：

周期测定部，测定被保持于所述至少一个保持部的所述工件的自转周期。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述至少一个工件包含多个工件，

所述至少一个保持部包含分别保持所述多个工件的多个保持部，

所述工件旋转装置还具有保持部驱动部，该保持部驱动部一边使所述多个保持部分别以所述自转轴为中心自转，一边使所述多个保持部分别向与该自转轴延伸的方向不同的指定的移动方向移动，

所述控制部如下地控制所述运行输出：在所述工件旋转装置的所述保持部驱动部使所述多个工件移动的期间，且在所述多个工件中的至少一个的所述特定部分朝向所述蒸发源的所述出射面的期间的至少一部分即所述特定期间，使所述蒸发源的运行输出成为比所述基准输出高且比所述特定期间以外的期间的运行输出高的输出。

4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述至少一个工件包含多个工件，

所述至少一个保持部包含分别保持所述多个工件的多个保持部，

所述控制部如下地控制所述运行输出：在所述工件旋转装置一边使分别保持于所述多个保持部的所述工件的所述特定部分的旋转相位相互一致，一边使所述工件以所述自转轴为中心自转的期间，且在所述多个工件中的至少一个的所述特定部分朝向所述蒸发源的所述出射面的期间的至少一部分即所述特定期间，使所述蒸发源的运行输出成为比所述基准输出高且比所述特定期间以外的期间的运行输出高的输出。

5.根据权利要求3或4所述的成膜装置，其特征在于，

所述多个保持部分别具有进行所述多个工件的定位的定位部，以使所述特定部分以所述自转轴为基准朝向指定方向。

6.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述保持部驱动部具有能够一边使所述多个保持部分别以所述自转轴为中心自转，一边使所述多个保持部分别以与该自转轴延伸的方向平行延伸的公转轴为中心公转的结构。

7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

所述蒸发源被配置在所述保持部以所述公转轴为中心公转的公转轨道的外侧，

所述控制部如下地控制所述运行输出：在所述工件旋转装置的所述保持部驱动部一边使所述工件以所述自转轴为中心自转，一边使所述工件以所述公转轴为中心公转的期间，且在包含所述多个工件的所述特定部分的区域朝向所述公转轨道的外侧的期间的至少一部分即所述特定期间，使所述蒸发源的运行输出成为比所述基准输出高且比所述特定期间以外的期间的运行输出高的输出。