[发明专利]光延迟线、实现该线的低相干干涉仪、实现该干涉仪的装置和测量方法

权利要求书

1.一种用于在干涉仪中使用的光延迟线(LR)，包括：

-旋转的多边形(29)，

-第一和第二反射器(21、22)，

-称为测量光束的光束，

-解码分离器元件(40)，

-由解码分离器元件(40)分离测量光束而产生的第一和第二光束(Li1、Li2)，

其特征在于：

所述多边形(29)布置成调制来自同一测量光束并穿过所述多边形(29)分别导向所述第一和第二反射器(21、22)的所述第一和第二光束(Li1、Li2)的相应光路，以便通过所述第一和第二光束(Li1、Li2)的光路之间的差产生光学延迟；

所述第一和第二光束(Li1、Li2)：

-分别在所述多边形(29)的相同或不同的面上分别沿着第一入射角(θ₁)和第二入射角(θ₂)入射，使得当第一或第二入射角(θ₁、θ₂)中的一个在最小值或零值与最大值之间变化时，所述第一或第二入射角(θ₁、θ₂)中的另一个在所述最大值与所述最小值或零值之间变化，并且

-沿着穿过所述多边形(29)的旋转中心的轴线入射在所述多边形(29)上。

2.根据权利要求1所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述延迟线还包括光束调节元件和被称为解码分离器元件(40)的分离器元件，以将测量光束分离成所述第一和第二光束(Li1、Li2)，使得所述第一和第二光束通过分别在所述多边形(29)的两个平行面发生两次折射而分别到达第一和第二反射器(21、22)并且被反射然后通过所述多边形(29)导向至解码分离器元件(40)，所述第一和第二光束(Li1、Li2)被布置成使得所述第一和第二入射角(θ₁、θ₂)不同。

3.根据权利要求2所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述第一和第二光束(Li1、Li2)被布置成使得第一和第二入射角(θ₁、θ₂)在所述多边形(29)的旋转的至少一部分期间在相反方向上变化。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述多边形(29)是具有平行面的多边形。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述多边形(29)由以下材料中的一种制成：折射率大于1.4的材料、折射率大于2的材料、玻璃、硅。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的光延迟线(LR)，其特征在于，第一和第二光束(Li1、Li2)通过以下装置中的至少一种导向多边形(29)：光纤、带有平面波导的集成光学电路、自由传播。

7.一种低相干干涉仪，其实现根据前述权利要求中任一项所述的光延迟线(LR)，包括宽谱的光源(24)、编码分离器元件(25)和检测器装置(27)，其中，所述编码分离器元件(25)光学连接到所述光源(24)并且布置成(i)用于发射光束以照射物体(26)和(ii)用于将由所述物体(26)反射的光束传输到布置成将反射光束分离为所述第一和第二光束(Li1、Li2)的解码分离器元件(40)；所述光延迟线的旋转的多边形(29)被设置用于(i)接收入射的所述第一和第二光束(Li1、Li2)并且将它们分别朝着所述第一和第二反射器(21、22)导向和(ii)调节所述第一和第二光束(Li1、Li2)的各自的光路；所述检测器装置(27)光学连接到所述解码分离器元件(40)并布置成处理第一和第二反射光束以检测表示干涉的信号。

8.根据权利要求7所述的低相干干涉仪，其特征在于，所述干涉仪还包括激光干涉仪(IL)，所述激光干涉仪包括用于发射计量光束的激光源(31)和用于将所述计量光束插入到延迟线(LR)中的装置，并且其中，解码分离器元件(40)还被布置成将所述计量光束分离成分别与在多边形(29)上入射的第一和第二光束(Li1、Li2)叠加的两个第一和第二计量光束。