[发明专利]测量装置

说明书

本发明的目的是提供一种不需要长时间而能够以较高的可靠性对测量对象物质的浓度进行测量的测量装置。本发明的测量装置，具备收容被测量水的具有紫外线透过部的被测量水收容容器、对收容在该被测量水收容容器中的被测量水经由该紫外线透过部照射紫外线的紫外线光源、以及由在该被测量水收容容器内相互离开而对置配置的一对电极体构成的导电率测量用电极；基于上述被测量水收容容器内的被测量水中的、通过由紫外线带来的导电性物质生成反应增加的导电率的变化量，对测量对象物质的浓度进行检测；其特征在于，构成上述导电率测量用电极的上述一对电极体以形成在该一对电极体之间的电极体间区域的周面与上述被测量水收容容器的紫外线透过部的紫外线透过区域的内表面接触或接近的状态设置。

技术领域

本发明涉及基于通过向被测量水照射紫外线而产生的导电率的变化量来对测量对象物质的浓度进行测量的测量装置，更详细地讲，涉及适合用于测量超纯水中含有的有机物的浓度的测量装置。

背景技术

以往，作为测量在超纯水中含有的有机物的浓度、即全有机碳(TOC，TotalOrganic Carbon)的方法，已知有利用通过向作为被测量水的超纯水照射紫外线而产生的该被测量水的导电率的变化的方法(例如，参照专利文献1)。

以下对利用该被测量水的由紫外线照射带来的导电率的变化来测量TOC的方法进行说明。

如果向被测量水(作为测量对象物质的含有有机物的超纯水)照射紫外线，则通过该紫外线的作用而有机物分解，生成二氧化碳，通过该二氧化碳溶解在水中而生成碳酸离子，所以被测量水的导电率变化。即，在被测量水中，通过由紫外线照射而发生导电性物质生成反应、生成作为导电性物质的碳酸离子，导电率增加。因此，通过使用导电率测量机构测量由紫外线照射带来的被测量水的导电率的变化量，能够基于其变化量的值(测量值)来检测TOC。这里，作为用来测量液体的导电率的方法，例如可以举出交流二电极法及电磁感应法等。

在专利文献1中，作为用来实施利用被测量水的由紫外线照射带来的导电率的变化测量TOC的方法的装置，公开了具备低压水银灯(紫外线光源)和由一对电极体构成的导电率测量用电极(导电率测量机构)的全有机碳测量装置(TOC测量装置)。该TOC测量装置是通过交流二电极法来测量导电率的结构。

具体而言，有关专利文献1的TOC测量装置具备圆柱状的低压水银灯、对置于该低压水银灯并沿着该低压水银灯的灯轴排列设置的直圆管状的单元格、在该单元格的一端侧形成的入口管、以及在该单元格的另一端侧形成的出口管，在该单元格的内部，设置有沿着该单元格的中心轴(管轴)相互离开而对置配置的一对电极体。一对电极体是圆棒状，配置在单元格的中心轴的附近位置，关于该单元格的中心轴为线对称。

在该TOC测量装置中，对于从入口管供给并在单元格的内部朝向出口管流通的被测量水照射来自低压水银灯的光(紫外线)。并且，由一对电极体测量通过被照射紫外线而发生的被测量水的导电率的变化量，基于该测量值(变化量的值)来检测TOC。

在这样的TOC测量装置中，在来自紫外线光源的光包含容易被水吸收的波长域的紫外线的情况下，有从将紫外线光源点亮而向被测量水照射紫外线到能够由导电率测量机构稳定地测量导电率为止需要长时间的问题。即，为了测量被测量水的由紫外线照射带来的导电率的变化量而需要长时间。为了解决这样的问题，在将单元格中的被测量水的流速增大的情况下，由于由来自紫外线光源的紫外线的作用带来的有机物的分解变得不充分，所以不能得到正确的TOC。具体而言，由TOC测量装置测量的TOC成为比实际的TOC小的值。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表平9－510791号公报

发明内容

发明要解决的课题