[发明专利]匀流板和工艺腔匀气装置

说明书

本公开提供了一种匀流板和工艺腔匀气装置，工艺腔匀气装置包括匀流板、第一隔离板和第二隔离板；匀流板包括第一表面开设的第一导流槽，与第一表面相对的第二表面开设的第二导流槽；至少一个第一出气孔。第一导流槽的至少一个第一进气端与第一气源相连通，第二导流槽的至少一个第二进气端与第二气源相连通。第一导流槽的至少一个第一出气端、第二导流槽的至少一个第二出气端通过至少一个第一出气孔相连通；第一隔离板封堵第一导流槽以及至少一个第一出气孔位于第一表面的一端。第二隔离板封堵第二导流槽，且包括至少一个第二出气孔，至少一个第二出气孔与至少一个第一出气孔相连通。

本申请要求于2017年7月14日提交中国专利局、申请号为201710576540.8、发明名称为“LPCVD工艺腔匀气装置”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本公开涉及薄膜电池的制备工艺技术，尤其涉及一种匀流板和工艺腔匀气装置。

背景技术

目前光伏产业发展的关键是降低太阳能电池生产成本。铜铟镓硒(Copper IndiumGallium Selenium,CIGS)薄膜太阳电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好、光电转换率高等特点。在CIGS薄膜太阳能电池的制造过程中，应用低压力化学气相沉积法(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD)来制造进行薄膜制造。

发明内容

本公开一些实施例提供了一种工艺腔匀气装置，包括：

匀流板，包括：

相对设置的第一表面和第二表面；第一表面上开设的第一导流槽，其中，第一导流槽具有至少一个第一进气端和至少一个第一出气端，至少一个第一进气端与第一气源相连通；第二表面上开设的第二导流槽，其中，第二导流槽具有至少一个第二进气端和至少一个第二出气端，至少一个第二进气端与第二气源相连通；以及从第一表面延伸穿过第二表面的至少一个第一出气孔，至少一个第一出气端、至少一个第二出气端通过至少一个第一出气孔相连通；

位于匀流板的第一表面上的第一隔离板，配置为封堵第一导流槽以及至少一个第一出气孔中每个的一端；以及位于匀流板的第二表面上的第二隔离板，配置为封堵第二导流槽，且包括至少一个第二出气孔，至少一个第二出气孔与至少一个第一出气孔相连通。

在本公开一些实施例中，工艺腔匀气装置为LPCVD工艺腔匀气装置。

在本公开一些实施例中，匀流板还包括第一进气通道，第一进气通道从第一导流槽的底面延伸穿过第二表面，第二隔离板还包括第一进气孔，至少一个第一进气端、第一进气通道和第一进气孔相连通；第二隔离板还包括第二进气孔，至少一个第二进气端和第二进气孔相连通。

在本公开一些实施例中，第一导流槽和第二导流槽均为分枝状结构，且至少一个第一进气端为多个第一进气端，至少一个第一出气端为多个第一出气端，至少一个第二进气端为多个第二进气端，至少一个第二出气端为多个第二出气端，至少一个第一出气孔为多个出气孔，至少一个第二出气孔为多个出气孔。

在本公开一些实施例中，分枝状结构中，每一级分枝结构的横截面积均小于其上一级的分枝结构的横截面积。

在本公开一些实施例中，多个第一出气孔中每个的孔径相等；多个第二出气孔中每个的孔径相等。

在本公开一些实施例中，多个第一出气孔中每个的孔径与多个第二出气孔中每个的孔径相等。

在本公开一些实施例中，匀流板还包括第一表面上开设的第一凹槽和第二表面上开设的第二凹槽，其中，第一凹槽和第二凹槽内均设置有密封圈。

在本公开一些实施例中，工艺腔还包括冷却板，该冷却板设置在第二隔离板的远离匀流板的表面上，其中，冷却板包括：第二进气通道，配置为与第一进气孔相连通；和第三进气通道，配置为与第二进气孔相连通。