[发明专利]一种用于检测可透光光学部件的装置和方法

说明书

一种用于检测可透光光学部件(5)的装置(10)，本装置包括图像拍摄模块(20)，其被安置在支撑件(30)的第一侧，所述支撑件经配置以支持正被检测的可透光光学部件(5)。本装置(10)包括照明设备(40)，所述照明设备被配置以将来自光源(50)的光进行整形，并利用整形光照射所述可透光光学部件(5)的选定部分表面，以使图像拍摄模块(20)能够拍摄由支撑件(30)支持的可透光光学部件(5)的任一明视场图像、暗视场图像、或混合明视场和暗视场图像。

技术领域

本发明涉及检测可透光光学部件的领域，特别地但不排他地，涉及检测可透光光学部件如光学透镜中缺陷(包括防反射涂层缺陷)的装置和方法。

背景技术

光学仪器，如照相机和/或摄像机，已经普遍在日常生活中使用，其变体已经被广泛地结合到便携式电子设备里，如智能电话、平板电脑，以及移动监控单元，如供家庭使用或安装在车辆或建筑物中的数字图像和/或视频摄录机。很多时候，这些光学仪器或其变体包括一个或多个可透光光学部件，如光学透镜，但在其制造过程中，检测这些光学透镜的缺陷一直是个难题。透镜检测通常需要具有专业技能的检测人员，且检测过程是极耗时间和人力的。现有的检测方法涉及手动和视觉检查透镜上的缺陷，如黑点、划痕、白点、灰尘或污垢颗粒、气泡、刺痕、污迹、流痕和/或其它注入或涂层缺陷，但并不是所有这些缺陷都可以仅通过视觉检查被轻易地识别出来。因此，这种检测的质量在很大程度上取决于检测人员的判断和经验，但这可能是主观的和无法始终如一的。检测准确性可能会进一步削弱，特别是在批量生产过程期间，其中大量透镜需要由手动和视觉快速地进行检查。可以理解的是，长时间的持续和重复视觉检查会导致视力疲劳甚至视力受损，从而进一步降低检查过程的质量和可靠性。

US2004/0100629披露了一种使用一个或多个空间光调制器(SLM)来改变检测系统内的光束的相位和/或振幅的方法。该装置包括光束产生器和探测器，光束产生器将入射光束照向样本，入射光束的至少第一部分从样本射出，作为输出光束；探测器接收输出光束的至少一部分。被检查的样品包括标线片、光掩模、印刷电路板或硅晶圆或设备中的任一种。从输出光束导出的样本的目标图像与参考图像进行比较，以确定目标图像的任何部分是否与参考图像的相应部分相差超过一预定阈值量，由此来找出缺陷。该方法需要一个用于比较的参考图像来识别目标图像中的缺陷，所以产生合适的参考图像，才能识别出目标图像中的虚假缺陷。

需要一种改进的装置和方法，用于检测可透光光学部件如光学透镜以识别所述光学元件中的缺陷。

发明目的

本发明的一个目的是提供一种用于检测可透光光学部件(如光学透镜)的装置。

本发明的另一个目的是提供一种由机器自动检测可透光光学部件(如光学透镜)的装置。

本发明的另一个目的是在某种程度上减轻或消除与用于检测可透光光学部件的已知装置相关的一个或多个问题，或者至少提供一个有用的替代方案。

上述目的是通过主要权利要求的特征组合来满足；从属权利要求披露了本发明的其他有利实施例。

本领域技术人员将从以下描述中获得本发明的其他目的。因此，上述目的陈述并不是穷尽的，而是仅用于说明本发明多个目的中的一些目的。

发明内容

在第一主要方面，本发明提供了一种用于检测可透光光学部件的装置。该装置包括图像拍摄模块，其安置在支撑件的第一侧上，经配置以支持正被检测的可透光光学部件。该装置包括照明设备，其经配置以将来自光源的光进行整形，并将所述整形光照射到所述可透光光学部件的选定部分表面，使图像拍摄模块能够拍摄由支撑件支持的可透光光学部件的明视场图像、暗视场图像、或混合的明视场和暗视场图像中的任何一种视场图像。

在第二主要方面，本发明提供了一种用于检测可透光光学部件的系统，该系统包括所述第一主要方面的两个或更多个装置，其彼此以相同朝向或不同朝向安置。