[实用新型]一种电子气体的安全生产系统

说明书

本实用新型提供了一种电子气体的安全生产系统。该电子气体的安全生产系统包括：电子气体产生装置；安全箱体，电子气体产生装置设置在安全箱体的容纳腔中；气体循环装置，与安全箱体相连形成密闭回路以使安全箱体中的气体循环，气体循环装置具有第一吸附设备用于吸附泄漏的电子气体。将电子气体产生装置设置在安全箱体内，进而有效地避免了电子气体向大气中泄漏和扩散，同时设置气体循环装置对安全箱体内的气体进行循环且利用循环装置的第一吸附设备吸附循环气中泄漏的电子气体，进而更有效地避免了电子气体向大气中的泄漏和扩散，并且避免了气体泄漏在安全箱体内导致安全箱体内气压升高导致的危险。

技术领域

本实用新型涉及电子气体的制备领域，具体而言，涉及一种电子气体的安全生产系统。

背景技术

电子气体广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等。近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。

电子气体的研发制备实验是重中之重的问题，而电子气体大多为危害气体，因此需要严格控制制备、储存以及使用过程中的气体泄露。由于储存和使用由于工艺要求其气密性要求较高，因此可以很好地控制电子气体泄露。但是电子气体的制备一般在敞开体系中进行，因此其存在较为严重的泄漏问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种电子气体的安全生产系统，以解决现有技术中的电子气体制备时的泄漏问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种电子气体的安全生产系统，包括：电子气体产生装置；安全箱体，电子气体产生装置设置在安全箱体的容纳腔中；气体循环装置，与安全箱体相连形成密闭回路以使安全箱体中的气体循环，气体循环装置具有第一吸附设备用于吸附泄漏的电子气体。

进一步地，上述气体循环装置包括：气体管路，与安全箱体相连形成密闭回路；风机，设置在气体管路上；第一吸附设备，设置在风机的下游的气体管路上。

进一步地，上述安全生产系统还包括：电子气体输送管路，与电子气体产生装置连通设置；尾气处理装置，与电子气体输送管路连通设置，尾气处理装置设置在安全箱体外。

进一步地，上述第一吸附设备与电子气体输送管路相连，且二者的接口位于尾气处理装置的上游。

进一步地，上述尾气处理装置包括：第二吸附设备；第三吸附设备，设置在第二吸附设备的下游。

进一步地，上述安全生产系统还包括：安全生产室，电子气体产生装置、安全箱体和气体循环装置设置在安全生产室内；新风系统，新风系统用于安全生产室的换气。

进一步地，上述安全生产系统还包括第四吸附设备，第四吸附设备设置在新风系统的排风口端。

进一步地，上述安全生产室内设置有电子气体泄漏检测设备。

进一步地，上述安全生产系统还包括控制面板，电子气体产生装置具有电源控制器，控制面板与电子气体泄漏检测设备以及电源控制器电连接。

进一步地，上述安全箱体具有进气口。

应用本实用新型的技术方案，将电子气体产生装置设置在安全箱体内，进而有效地避免了电子气体向大气中泄漏和扩散，同时设置气体循环装置对安全箱体内的气体进行循环且利用循环装置的第一吸附设备吸附循环气中泄漏的电子气体，进而更有效地避免了电子气体向大气中的泄漏和扩散，并且避免了气体泄漏在安全箱体内导致安全箱体内气压升高导致的危险。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：