[实用新型]一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置

说明书

本实用新型公开了一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置，包括激光干涉仪、调整装置和光学系统，所述光学系统将激光干涉仪发出的激光分成参考光和测试光两路激光，两路激光形成干涉光由激光干涉仪接收进行检测；所述调整装置对光学系统的角度和水平距离进行调整。本实用新型能够满足对被测物镜的波前检测，采用高精度的激光干涉仪对干涉图像进行检测，干涉仪的测量过程简单可控，可获得高重复性和高精度的测量结果。调整装置可对检测时的被测物镜进行轴向和角度调整，可实现一套系统对轴上和轴外的分别测试，测试条件灵活切换，提高了测试的灵活性。

技术领域

本实用新型涉及一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置，属于光学检测领域。

背景技术

显微物镜综合波前的检测，对于物镜的制造者和使用者来说都是很有必要的。物镜的透过波前是物镜性能的综合反映，通过透过波前的测试可以分析出球差、彗差和像散并且可以知道装配过程中的空气间隔、偏心等装配误差。

本发明基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置，使用干涉仪属于斐索型等厚干涉仪，是现代高性能干涉测量系统。在分辨率、抗干涉能力和测量精度方面都有显著进步。干涉仪测量精度高且操作简单，参考镜精度接近λ/40，干涉腔精度约为λ/20，采用精密移相技术和高分辨力CCD接收器件，经软件计算，可获得高重复性和高精度的测量结果。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置，该装置能够满足对被测物镜的波前检测，采用高精度的激光干涉仪对干涉图像进行检测，测量过程简单可控，可获得高重复性和高精度的测量结果。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案为：

一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置，包括激光干涉仪、调整装置和光学系统，所述光学系统将激光干涉仪发出的激光分成参考光和测试光两路激光，两路激光形成干涉光由激光干涉仪接收进行检测；所述调整装置对光学系统的角度和水平距离进行调整。

其中，所述光学系统包括位于激光干涉仪出射口的标准球面镜和用于反射激光的标准平面镜，被测物镜位于所述标准球面镜和标准平面镜之间；激光干涉仪发出的激光由标准球面镜部分反射后形成参考光；由标准球面镜部分透射的激光经过被测物镜透射后由所述标准平面镜原路返回，原路返回的激光依次通过被测物镜和标准球面镜后形成测试光；参考光和测试光形成干涉光并由激光干涉仪接收检测。

其中，所述调整装置包括用于调整旋转角度的电动旋转台和用于调整轴向位置的直线轨道；所述直线轨道固定安装在电动旋转台上；还包括用于安装被测物镜和标准平面镜的滑块，所述滑块与轨道滑动连接。

其中，还包括用于调整被测物镜和标准平面镜角度的五维调整架，所述五维调整架分别固定在滑块上，五维调整架上分别安装有被测物镜和标准平面镜。

相比于现有技术，本实用新型技术方案具有的有益效果为：

本实用新型能够满足对被测物镜的波前检测，采用高精度的激光干涉仪对干涉图像进行检测，干涉仪的测量过程简单可控，可获得高重复性和高精度的测量结果。调整装置可对检测时的被测物镜进行轴向和角度调整，可实现一套系统对轴上和轴外的分别测试，测试条件灵活切换，提高了测试的灵活性。

附图说明

图1为本实用新型一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置轴上测试俯视图；

图3为本实用新型一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置轴外测试俯视图。

具体实施方式