[实用新型]一种双层蒸镀容器有效
| 申请号： | 201822275229.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209508391U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王颖;戴雷;蔡丽菲 | 申请（专利权）人： | 广东阿格蕾雅光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11333 | 代理人： | 胡敬红 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚壁 坩埚 本实用新型 双层坩埚 蒸镀容器 受热 电极接触 缓冲缝隙 上部开口 双层结构 蒸镀材料 爬升 炸裂 不均匀 加热丝 圆桶形 短路 等高 两壁 两层 外檐 沿壁 蒸镀 溢出 缓和 | ||
【权利要求书】：
1.双层蒸镀容器，其特征在于：为一圆桶形双层坩埚，所述双层坩埚的内坩埚壁比外坩埚壁低或等高，两壁之间有间隙，外坩埚壁的上部开口往外延展出一圈外檐。
2.根据权利要求1所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述外檐与外坩埚壁之间圆滑过渡后往外水平延展。
3.根据权利要求2所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述两壁之间的间隙为2-6mm，外檐宽度为4-8mm。
4.根据权利要求1所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述两壁之间的间隙为2-4mm，外檐宽度为6-8mm，内坩埚壁和外坩埚壁的壁厚为1-2mm。
5.根据权利要求4所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述两壁之间的间隙为2mm，外檐宽度为6mm，内坩埚壁和外坩埚壁的壁厚为1mm。
6.根据权利要求4所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述双层坩埚高度为12-16mm，内坩埚壁内直径为12-16mm，外坩埚壁内直径为18-22mm。
7.根据权利要求4所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述双层坩埚高度为15mm，内坩埚内直径为12mm，外坩埚壁内直径为18mm。
8.根据权利要求1所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述双层坩埚材质为石英、BN、石墨、Si3N4、ZrO2或SiC。
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