[实用新型]多级磁场和内衬偏压异形管与多孔挡板复合的过滤装置有效
| 申请号： | 201822274606.0 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214168114U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 魏永强;王好平;宗晓亚;刘学申;张新国;蒋志强 | 申请（专利权）人： | 魏永强 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450015 河南省郑州市二七*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多级 磁场 内衬 偏压 异形 多孔 挡板 复合 过滤 装置 | ||
【权利要求书】：
1.多级磁场和内衬偏压异形管与多孔挡板复合的过滤装置，其特征在于，该装置包括偏压电源（1）、弧电源（2）、电弧离子镀靶源（3）、多级磁场装置（4）、多级磁场电源（5）、内衬偏压锥形管、阶梯管与多孔挡板组合装置（6）、内衬偏压电源（7）、样品台（8）、偏压电源波形示波器（9）和真空室（10）；
该装置中：
待处理基体工件置于真空室（10）内的样品台（8）上，多级磁场装置（4）、内衬偏压锥形管、阶梯管与多孔挡板组合装置（6）和真空室（10）之间相互绝缘，工件放置在样品台（8），样品台（8）接偏压电源（1）的负极输出端，电弧离子镀靶源（3）安装在真空室（10）上，接弧电源（2）的负极输出端，多级磁场装置（4）的各级磁场接多级磁场电源（5）的各个输出端，正负极接法依据输出磁场方向进行确定，内衬偏压锥形管、阶梯管与多孔挡板组合装置（6）接内衬偏压电源（7）的正极输出端，电源总控制开关和外部水冷循环系统开启。
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