[实用新型]可调节式探针装置有效
申请号: | 201822268112.1 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209356558U | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 陈相和 | 申请(专利权)人: | 深圳市杰普特光电股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 逯恒 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区观湖*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测探针 横向调节装置 纵向调节装置 电路板 可调节式 探针装置 电学性能检测 本实用新型 改变检测 探针 装置技术领域 可拆卸连接 底座连接 调节方便 检测位置 可拆卸的 探针台 底座 制备 探测 | ||
本实用新型涉及电学性能检测装置技术领域,尤其是涉及一种可调节式探针装置。可调节式探针装置包括底座、第一电路板、横向调节装置、第一纵向调节装置和多根检测探针;检测探针与第一电路板可拆卸连接;第一电路板与第一纵向调节装置连接;第一纵向调节装置与横向调节装置连接;横向调节装置与底座连接。本实用新型提供的可调节式探针装置,通过将检测探针可拆卸的设置在电路板上,使得既能够改变检测探针的数量,又能够根据检测探针的安装位置,改变检测探针的间距,在进行电学性能检测时,不需要制备多个探针台,减少了使用成本;通过纵向调节装置和横向调节装置的设置,使得检测探针的检测位置调节方便,增加了探测范围。
技术领域
本实用新型涉及电学性能检测装置技术领域,尤其是涉及一种可调节式探针装置。
背景技术
随着互联网的兴起,人类对电子类产品的需求越来越大,尤其是智能设备的需求越来越大。电子产品的种类繁多,对相应的电子检测设备提出了更大的挑战,例如薄膜场效应晶体管(TFT),使用到了更为精密的TFT器件电学性能测试仪,该设备的探针台可实现3维方向调整,可探测不同尺寸的TFT。因此,实用性大的电子产品检测设备成为时下研究的热点。
通常的TFT探针台是由具有弹性的针尖和三维调整基座。该结构中三维调整基座可通过三个旋钮来调节针尖在立体空间内X轴、Y轴及Z轴方向的位置,从而实现精准调节针尖的踩点位置。
但是,现有的探针台中,探针安装较少,在探针损坏或灵敏度降低后,不易更换,往往需要更换探针时,对整个装置进行更换,使得检测成本较高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可调节式探针装置,以解决现有技术中存在的技术问题。
本实用新型提供的可调节式探针装置,包括底座、第一电路板、横向调节装置、第一纵向调节装置和多根检测探针;
所述检测探针与所述第一电路板可拆卸连接;
所述第一电路板与所述第一纵向调节装置连接;
所述第一纵向调节装置与所述横向调节装置连接;
所述横向调节装置与所述底座连接。
进一步的,所述第一纵向调节装置包括纵向调节底板、纵向调节螺杆和纵向调节螺母;
所述纵向调节螺杆转动设置在所述纵向调节底板上;
所述纵向调节螺母固定设置在所述第一电路板的一侧;
所述纵向调节螺杆与所述纵向调节螺母螺纹连接。
进一步的,所述纵向调节螺杆的端部设置有旋转旋钮或旋转把手。
进一步的,所述纵向调节底板上与所述纵向调节螺杆的轴线平行的两侧设置有滑行轨道;
所述第一电路板滑动设置在所述滑行轨道上。
进一步的,所述横向调节装置包括横向调节底板、横向调节螺杆和横向调节螺母;
所述横向调节螺杆转动设置在所述横向调节底板上;
所述横向调节螺母固定设置在所述横向调节底板远离所述第一电路板的一侧;
所述横向调节螺杆与所述横向调节螺杆螺纹连接。
进一步的,所述第一电路板上设置有调节杆;
所述调节杆设置有多个探针调节装置;
所述检测探针设置在所述探针调节装置上。
进一步的,所述探针调节装置包括调节环和调节螺栓;
所述调节环滑动设置在所述调节杆上;
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