[实用新型]一种通用掩模夹盘有效
| 申请号： | 201822263937.4 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209803555U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陈青 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/68 | 分类号： | G03F1/68;B25B11/00 |
| 代理公司： | 32330 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹盘 限位杆 本实用新型 外部 固定轴 通用掩模 传统的 省力 省时 掩模 制作 | ||
1.一种通用掩模夹盘，其特征在于，包括外部夹盘(1)和内部夹盘(2)，所述外部夹盘(1)内侧设有内部夹盘(2)，所述外部夹盘(1)底部四周均匀设有四个固定轴(3)，所述外部夹盘(1)通过底部的固定轴(3)固定于内部夹盘(2)的外侧，所述外部夹盘(1)顶部均匀设有四个七寸版限位杆(4)，所述内部夹盘(2)上靠内侧均匀设有四个五寸版限位杆(5)，所述内部夹盘(2)上靠外侧均匀设有四个六寸版限位杆(6)，所述五寸版限位杆(5)和六寸版限位杆(6)均与内部夹盘(2)固定连接，且每个所述七寸版限位杆(4)、五寸版限位杆(5)以及六寸版限位杆(6)内侧均设有L型卡槽。
2.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，四个所述五寸版限位杆(5)内侧放置若干五寸版(7)，四个所述六寸版限位杆(6)内侧放置若干六寸版(8)，四个所述七寸版限位杆(4)内侧放置若干七寸版(9)。
3.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，四个所述五寸版限位杆(5)之间的连线面积等于五寸版(7)的面积，四个所述六寸版限位杆(6)之间的连线面积等于六寸版(8)的面积，四个所述七寸版限位杆(4)之间的连线面积等于七寸版(9)的面积。
4.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，所述外部夹盘(1)和内部夹盘(2)均为聚四氟乙烯材质制成。
5.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，所述固定轴(3)的长度为3cm。
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G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
