[实用新型]靶材刻字工装夹具

说明书

一种靶材刻字工装夹具，包括工装台，至少一个夹紧装置及旋转机构；其中，所述旋转机构固定安装于所述工装台侧面，所述夹紧装置固定设置在所述工装台侧面。使所述旋转机构与所述夹紧装置的配合，带动所述工装台旋转，以配合激光头的朝向进行刻字工作，当将所述靶材安装在所述工装台上之后，无需人工调节方向，免去多次拆卸，减小对靶材表面的破坏，并且所述旋转机构控制所述靶材的刻字角度，既快速又准确，很大程度上提高了靶材加工中刻字工艺的效率。

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，特别设计一种靶材刻字工装夹具。

背景技术

半导体加工领域中，靶材制作好之后，往往要按照要求对所述靶材表面进行激光刻字工艺。

现有技术中，需要人工判定所述靶材刻字的位置及距离后，将所述靶材需刻字的面朝向激光头，当需要对所述靶材表面刻字时，也需要人工确认位置然后调整与激光头的距离，会造成误差；并且，当进一步需要对所述靶材的侧面进行刻字时，需要将安装好的靶材从夹具上取下进行从新固定，过程中的所述靶材容易受到划伤或造成报废，刻字效率也非常低。

因此，急需提供一种靶材刻字工装夹具，可以通过对所述靶材一次装夹后，可自动旋转以配合激光头对所述靶材刻字。

发明内容

本发明解决的问题是对靶材进行激光刻字过程中，为了在靶材不同角度上刻字，要对靶材进行多次拆卸和反复固定，所述靶材容易产生异常或报废，同时刻字效率非常低。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材刻字工装夹具，包括至少一个夹紧装置及旋转机构；其中，所述旋转机构固定安装于所述工装台侧面，所述夹紧装置固定设置在所述工装台侧面。

可选的，所述工装台表面呈圆形。

可选的，当所述夹紧装置为两个时，相对设置在所述工装台直径方向上两侧。

可选的，还包括限位柱，所述限位柱设置在所述工装台边缘。

可选的，所述工装台厚度方向上具有至少一个通孔。

可选的，所述旋转机构包括电机马达。

可选的，所述夹紧装置包括压紧夹具与气缸，所述压紧夹具固定在所述气缸上。

可选的，还包括：连接耳，固定连接于所述工装台侧面，所述夹紧装置设置在所述连接耳上。

可选的，所述气缸穿过所述连接耳与所述压紧夹具螺接。

可选的，所述压紧夹具为L形，具有压紧面，所述压紧面上设有保护层。

可选的，所述保护层为硅胶或纺布。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

通过所述旋转机构连接在工装台侧面，使所述旋转机构与所述夹紧装置的配合，带动所述工装台旋转，以配合激光头的朝向来进行刻字工作，当将所述靶材安装在所述工装台上之后，无需人工调节，所述工装夹具会通过软件控制所述靶材的刻字角度，既快速又准确，很大程度上提高了靶材加工中，刻字的效率；同时，减小拆卸次数，降低靶材的异常或报废的风险。

附图说明

图1是本实施例提供的工装台的平面示意图；

图2是图1中沿A-A方向的剖视图；

图3是本实施例提供的工装夹具安装靶材后垂直状态的示意图。

具体实施方式

现有技术中，对靶材刻字时，都是采用人工安装和拆卸靶材来调整所述靶材，以便激光头对所述靶材进行刻字。