[实用新型]一种双远心投影光刻镜头

权利要求书

1.一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；

所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：

第一透镜，具有正光焦度，所述第一透镜的物面侧为凸面，所述第一透镜的像面侧为凸面；

第二透镜，具有负光焦度，所述第二透镜的物面侧为凸面，所述第二透镜的像面侧为凹面；

第三透镜，具有正光焦度，所述第三透镜的物面侧为凸面，所述第三透镜的像面侧为凸面；

第四透镜，具有负光焦度，所述第四透镜的物面侧为凹面，所述第四透镜的像面侧为凸面；

第五透镜，具有负光焦度，所述第五透镜的物面侧为凹面，所述第五透镜的像面侧为凸面；

所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：

第六透镜，具有负光焦度，所述第六透镜的物面侧为平面，所述第六透镜的像面侧为凹面；

第七透镜，具有正光焦度，所述第七透镜的物面侧为凸面，所述第七透镜的像面侧为凸面；

第八透镜，具有正光焦度，所述第八透镜的物面侧为凸面，所述第八透镜的像面侧为凸面；

第九透镜，具有正光焦度，所述第九透镜的物面侧为凸面，所述第九透镜的像面侧为凸面；

第十透镜，具有正光焦度，所述第十透镜的物面侧为凹面，所述第十透镜的像面侧为凸面；

第十一透镜，具有负光焦度，所述第十一透镜的物面侧为平面，所述第十透镜的像面侧为凹面；

其中，第六透镜与第七透镜的光学边缘紧贴设置；

双远心投影光刻镜头满足如下关系：

150mm<f1<400mm，20mm<f2<200mm，

0.1<f1/f<3，0.05<f2/f<3，

其中，f1为前透镜组的焦距值，f2为后透镜组的焦距值，f为双远心投影光刻镜头的焦距值。

2.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜分别为玻璃材质。

3.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述光阑大小为8mm—10mm。

4.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述双远心投影光刻镜的镜头总长小于36mm。

5.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述双远心投影光刻镜的F数为4-10之间。

6.根据权利要求1所述的一种双远心投影光刻镜头，其特征在于：所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜的镜片口径均小于80mm。