[实用新型]密封法兰

说明书

本实用新型是关于密封法兰。该密封法兰包括：盲法兰；密封层，位于所述盲法兰的用于密封的一面上；卡扣和连接臂，所述连接臂的一端连接所述盲法兰或所述密封层，相对端连接所述卡扣；所述密封法兰用于密封接口时，所述盲法兰和所述密封层位于所述接口所在腔体的一侧，所述卡扣位于所在腔体的相对侧。该技术方案提供的密封法兰可以自固定，安装、拆卸时间短，效率高，且复用性好。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，尤其涉及一种密封法兰。

背景技术

在对镀膜设备(Coater)的真空腔进行真空度检查时，需要先对真空腔内的各种接口进行密封，通常是采用盲法兰锁附的方式，将盲法兰的周边用多个螺丝固定在接口周围对应的多个凹陷区域处，以盲法兰上的密封垫对接口进行密封，但是，安装、拆卸盲法兰花费的时间久，浪费人力，灵活性较差。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种密封法兰，解决在真空腔进行真空度检查时对各种接口进行密封拆卸不方便的问题。采用的技术方案如下：

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种密封法兰，包括：

盲法兰；

密封层，位于所述盲法兰的用于密封的一面上；

卡扣和连接臂，所述连接臂的一端连接所述盲法兰或所述密封层，相对端连接所述卡扣；

所述密封法兰用于密封接口时，所述盲法兰和所述密封层位于所述接口所在腔体的一侧，所述卡扣位于所在腔体的相对侧。

在一个实施例中，所述密封法兰用于密封腔室的接口，所述盲法兰和所述密封层位于所述腔室的外壁上，所述卡扣位于所述腔室的内壁上。

在一个实施例中，所述连接臂为弹性臂，所述弹性臂的原长小于所述接口所在腔体的厚度。

在一个实施例中，所述盲法兰上与所述卡扣相对的一面上设置有与密封层适配的凹陷区域；所述密封层的一部分设置在所述凹陷区域处。

在一个实施例中，所述密封法兰还包括：

粘结层，位于所述盲法兰和所述密封层之间，用于将所述密封层和所述盲法兰粘结在一起。

在一个实施例中，所述卡扣的材料包括弹性材料；和/或

所述盲法兰的材料包括硬质材料。

在一个实施例中，所述盲法兰在用于密封的一面上设置有螺丝杆；所述卡扣在与所述盲法兰相对的一面上设置有第一套筒；所述第一套筒内设置有与所述螺丝杆相匹配的内螺纹；当所述密封法兰安装后，所述螺丝杆与所述第一套筒螺纹连接；

或者，

所述盲法兰在用于密封的一面上设置有第二套筒；所述卡扣在与所述盲法兰相对的一面上设置有螺丝杆；所述第二套筒内设置有与所述螺丝杆相匹配的内螺纹；当所述密封法兰安装后，所述螺丝杆与所述第二套筒螺纹连接。

在一个实施例中，所述盲法兰上设置有第一通孔，所述第一通孔内设置有内螺纹；

所述卡扣在相对所述盲法兰的一面上设置有连接杆，所述连接杆上设置有与所述盲法兰的第一通孔的内螺纹相匹配的螺纹；或者，

所述卡扣上设置有第二通孔，所述第二通孔内设置有内螺纹；

所述盲法兰在用于密封的一面上设置有连接杆，所述连接杆上设置有与所述卡扣的第二通孔的内螺纹相匹配的螺纹。

在一个实施例中，所述盲法兰上设置有第三通孔，所述盲法兰在未设置密封层的一面还形成有第三套筒，所述第三套筒与第三通孔所述相连通；所述连接臂的一端与所述卡扣固定连接，另一端穿过所述盲法兰上的第三通孔；